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      產(chǎn)品|公司|采購|資訊

      紫外掩膜曝光機 Model 200

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱韋氏納米系統(tǒng)(深圳)有限公司
      • 品       牌
      • 型       號Model200
      • 所  在  地深圳市
      • 廠商性質(zhì)代理商
      • 更新時間2020/3/15 13:38:09
      • 訪問次數(shù)408
      產(chǎn)品標簽:

      掩膜曝光機曝光機OAI

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      First-Nano System GmbH 

      • 2003年          創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學(Dresden University of Technology)

      • 2008年          香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司   

      • 2015年          上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司中國代表處,負責中國區(qū)業(yè)務

      • 2018年          深圳正式成立韋氏納米系統(tǒng)(深圳)有限公司,更好的為中國南方區(qū)市場

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      產(chǎn)品范圍:

      薄膜沉積/Thin Film Deposition 
      E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
      刻蝕/Etching
      RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
      薄膜制程/Growth
      ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
      表面處理/Surface Treatment
      Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
      清洗/Cleaning
      - Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
      - Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液

       

      光學透鏡和儀器,實驗室器具,專用儀器儀表,電化學設備和部件
      OAI 200型光刻機 和紫外曝光系統(tǒng)
      OAI系統(tǒng)可以處理各種常規(guī)和不規(guī)則形狀的寬范圍的基材。
      高效光源在各種光譜上提供均勻的紫外線照射。.
      紫外掩膜曝光機 Model 200 產(chǎn)品信息

      OAI 200型光刻機和紫外線曝光系統(tǒng)是一種經(jīng)濟高效的高性能工具,采用行業(yè)驗證的模塊化組件進行設計,使OAI成為MEMS,納米技術和半導體設備行業(yè)的*者。200型是臺式機型,需要小的潔凈室空間。它為研發(fā),試驗或小批量生產(chǎn)提供了經(jīng)濟的替代方案。利用創(chuàng)新的空氣軸承/真空卡盤校平系統(tǒng),基板被快速和平緩地平整以用于平行光掩模對準和在接觸暴露期間在晶片上的均勻接觸。該系統(tǒng)具有微米分辨率和對準精度。對準模塊具有掩模插入件組和快速更換晶片卡盤,其允許使用各種襯底和掩模,而不需要對機器重新設定。對準模塊包含X,Y和θ軸(微米)。200型對準器可以廣泛地安裝進對準光學儀器,包括背面IR。 IR照明真空吸盤可以被配置用于整個或或部分晶片的對準。 OAI 200型可配置OAI納米壓印模塊,使其成為低成本的NIL工具。 OAI還提供了一個模塊,設計用于使用液體光引物進行快速成型或生產(chǎn)微流體器件。 Model 200具有可靠的OAI光源,在近紫外或深紫外線下使用200至2000瓦功率的燈提供準直的紫外光。雙傳感器,光學反饋回路與恒定強度控制器相關聯(lián),以提供在所需強度的±2%內(nèi)的曝光強度的控制。可以簡單快速地改變UV波長。

       

      OAI 200型是一個高度靈活的,經(jīng)濟的解決方 案,適合任何        入門級掩模對準和紫外線照射應用。

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