濟(jì)南凈化車間工程施工公司承包價(jià)格
隨著時(shí)代與技術(shù)的進(jìn)步,在電子行業(yè)中,亞微米工藝對(duì)生產(chǎn)場(chǎng)所空氣潔凈度要求特別的高。集成電路光刻工藝的尺寸是推動(dòng)潔凈室要求的決定性因素,當(dāng)然技術(shù)越進(jìn)步,尺寸就越小,如果落在集成電路上的粒子大于小尺寸的1%-2%,集成電路就廢了,金屬粒子,離子,細(xì)菌都是生產(chǎn)廢品的元兇。所以說(shuō),空氣潔凈度的好壞直接影響電路生產(chǎn)的成品率。
電子廠房?jī)艋牡攸c(diǎn):電子工業(yè)廠房?jī)艋奶攸c(diǎn)一是大,二是多變。幾千平方米,上萬(wàn)平方米的面積并不少見(jiàn)。電子工業(yè)的技術(shù)更新,工藝變了,平面布局就跟著變,因此平面上不宜有固定的分隔,特是很小的分隔。具體說(shuō),有以下*之處應(yīng)加注意:
濟(jì)南凈化車間工程施工公司承包價(jià)格
1、平面由工藝決定,電子工業(yè)凈化廠房的工藝布局應(yīng)適應(yīng)電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。
2、應(yīng)考慮大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝、維修要求,設(shè)置必要的運(yùn)輸和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口和檢修口。
3、主題結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系。
4、大型電子工業(yè)凈化廠房常才用上技術(shù)夾層,下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造。
5、電子工業(yè)凈化廠房的裝修材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響的材料。
6、對(duì)于高高級(jí)別凈化室,為了盡可能不影響氣流的單向性,平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具。
7、電子工業(yè)凈化是要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電,以便抑制靜電的產(chǎn)生,將已生產(chǎn)的靜電迅速,安全的排除。
8、電子工業(yè)凈化廠房有對(duì)防微震的特殊要求,在廠地環(huán)境上應(yīng)避開(kāi)振動(dòng)源。
9、電子工業(yè)凈化廠房除有一般給我水要求外,對(duì)超大國(guó)模集成電子路的用水也有標(biāo)準(zhǔn)。
10、特種氣體的儲(chǔ)存和分配應(yīng)有耐火墻與凈化室(區(qū))分開(kāi),該墻耐火不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面敞開(kāi)的,氣瓶與周圍構(gòu)筑欄之間的距離應(yīng)大于3M,儲(chǔ)存區(qū)設(shè)施的雨蓬應(yīng)不低于3M。
11、電子工業(yè)潔凈室允許設(shè)空氣吹淋室,這是和一般生物凈化室不同的,吹淋室與凈化工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按***大班人數(shù)為30人一間設(shè)計(jì),當(dāng)工作人員超過(guò)5人時(shí),應(yīng)設(shè)旁門(mén),當(dāng)人數(shù)太多 或?yàn)榱丝s短通過(guò)時(shí)間,也可設(shè)隧道式吹淋室。
12、電子工業(yè)潔凈室按二級(jí)耐火等級(jí)設(shè)計(jì)。
電子廠房空氣凈化結(jié)構(gòu)材料參考:
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌
等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。
電子車間凈化參考參數(shù):
換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。