德國DIENER真空等離子清洗機(Prep-2型 )
【簡單介紹】
【詳細說明】
Prep-2型 等離子清洗/刻蝕機;
* 真空艙體 Φ100mm × L270 mm 水平 (2 升)
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發(fā)生器
* 高效針孔電極
* 銅氣體管、氣體流量計、針閥
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體
* 自動計時器控制等離子處理過程
* 半自動控制
* 功率連續(xù)可調 0-100W
* 自動阻抗匹配
* 自由設置參數(shù):處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能:真空觸發(fā)、艙門鎖
* 電磁閥保護,回流油霧不能進入艙體
* 規(guī)格:W345 mm×H220 mm× D420 mm
* 電源:AC 220V/50Hz
* 真空泵:萊寶Leybold Type S1.5(1.5m3/h)
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體(外置環(huán)形電極)或石英艙體
配件選裝指南:
• 13.56MHz射頻發(fā)生器
• 2.45GHz射頻發(fā)生器
• 半自動控制系統(tǒng)
• 全自動控制系統(tǒng) - 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)
• 計算機(PC)控制系統(tǒng) - 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)同時可記錄處理的整個過程
• 附加氣體通路
• 自動真空艙門 • 設備自動門
• 條碼閱讀器
• 偏壓測量系統(tǒng)
• 碟型閥
• 排氣過濾系統(tǒng)
• 適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)
• 艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸
• 粉末處理裝置
• 法拉第容器
• 氣體供給系統(tǒng) - 在等離子聚合過程中提供密度均勻的單體
• 玻璃艙體(硅酸鹽或石英)
• 預熱板
• 等離子測量傳感器 - 應用在等離子聚合過程和含腐蝕性環(huán)境中
• 真空泵抽氣入口過濾器
• 標簽打印機
• 標簽閱讀機
• 加深艙體
• 單體瓶 - 輕松的控制不穩(wěn)定的液體含量
• 網(wǎng)絡連接系統(tǒng)
• 聚合處理附件
• 氣瓶出氣減壓閥
• 石英玻璃皿
• 卷軸艙體系統(tǒng)- 適用于批量處理薄膜、箔等
• RIE電極(適用于刻蝕)
• 旋轉艙體系統(tǒng) - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理
• 安全閥
• 服務條約 - 使用易燃、易爆性氣體,例如:氫氣、乙炔…
• 附加的配件
• 特殊的電極和托盤
• 特殊法蘭/附加法蘭
• 特殊軟件
• 特殊真空艙體
• 過程溫度測量
• 測試墨水(用于測試表面接觸角)
• 真空泵系統(tǒng)
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