系列簡(jiǎn)介及說(shuō)明 |
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專為高純氣體運(yùn)用場(chǎng)合,測(cè)量微量濕度水平的一體式變送器 |
系列用途 |
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典型運(yùn)用 ◆ 在線檢測(cè)半導(dǎo)體工業(yè)高純氣的濕度 |
產(chǎn)品特點(diǎn) |
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◆ 安裝簡(jiǎn)便 ◆ 高度的穩(wěn)定性和重復(fù)性 ◆ 測(cè)量范圍達(dá)-120℃露點(diǎn)(<1ppbV) ◆ 100級(jí)潔凈室凈化包裝 |
技術(shù)參數(shù) |
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測(cè)量范圍: -120…40℃露點(diǎn) 精 度: ±1℃露點(diǎn) 工作壓力: 30Mpa 工作溫度:-20…+50℃ 氣室材料:冷拉不銹鋼,內(nèi)部0.1…0.2微米電拋光 防護(hù)等級(jí):IP65 氣路接口:1/4 ’’VCR 流量等級(jí):建議位1…5NL/Min 工作電源:12…28VDC 輸出信號(hào):4…20 mA (RS485可選) 溯源性:NPL(英國(guó))和NIST(美國(guó)) 質(zhì)量保證期:12個(gè)月 |