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訪問(wèn)次數(shù):751更新時(shí)間:2022-01-26 08:01:11
復(fù)合分子泵
FF型復(fù)合分子泵廣泛地應(yīng)用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質(zhì)譜儀;真空鍍膜行業(yè)、顯像管生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造業(yè)、等離子刻蝕等領(lǐng)域。
主要性能特點(diǎn):
1.高極限真空
*的整體加工轉(zhuǎn)子,可運(yùn)轉(zhuǎn)于更高的工作轉(zhuǎn)速,提高了泵的極限真空。
2.大抽速
是由渦輪級(jí)和牽引級(jí)復(fù)合而成,從而提高了泵的抽速。
3.高壓縮比
轉(zhuǎn)子*的螺旋槽式牽引級(jí)使泵具有高的壓縮比和耐粉塵能力。
4低噪音
采用高精度球軸承,動(dòng)平衡好,對(duì)軸承的磨損小,軸承壽命長(zhǎng),整機(jī)振動(dòng)小,噪音低。
5.清潔無(wú)油
是靠動(dòng)葉片和定葉片的相對(duì)運(yùn)動(dòng)抽除、拖動(dòng)、傳輸氣體分子排出,因此可獲得清潔無(wú)油的高真空和超高真空。
6.節(jié)能
由于整體轉(zhuǎn)子比分體轉(zhuǎn)子輕,因此電機(jī)負(fù)載小,消耗功率小,可以運(yùn)行更高的轉(zhuǎn)速。
用途:
主機(jī)
進(jìn)氣口通徑 DN250mm
排氣口通徑 KF40mm
抽氣速率 1600L/s
極限壓強(qiáng) 5×10-7Pa (金屬密封) 5×10-6Pa (橡膠密封)
壓縮比 N2:108 H2:4×103
電機(jī)轉(zhuǎn)速 24000r/min
啟動(dòng)時(shí)間 <10min
潤(rùn)滑油量 260ml
冷卻方式 水冷
冷卻水耗量 90L/h
冷卻水溫度 <24℃
安裝位置 垂直
電源:
zui大功率輸入 1 KW
輸出電壓 120V(峰值)
輸出頻率 400Hz+10Hz
啟動(dòng)電流 5A
工作電流 2A