近日從中國計量科學研究院獲悉，該院研究建立的無塵車間空氣凈化中顆粒計數(shù)計量校準裝置提高了中國在粒子計數(shù)的測量水平，解決了此領域*依賴國外凈化設備的現(xiàn)狀，提高了中國粒子計器的生產(chǎn)能力和競爭力。目前，通過向各省級*所、儀器生產(chǎn)企業(yè)等單位的宣傳推廣，以及向用戶開展校準檢測服務，一些單位已經(jīng)開始以該標準粒子計數(shù)器校準裝置為基礎建立了本單位的工作級粒子計數(shù)器校準裝置。這一研究成果將使中國粒子計數(shù)測量水平和對國家發(fā)展的支撐能力躍上一個新臺階。

　　項目負責人、中國*化學所程惠玲介紹，空氣中顆粒物污染是許多行業(yè)生產(chǎn)及加工工藝中主要的污染來源，準確評價無塵車間空氣凈化已經(jīng)成為許多行業(yè)生產(chǎn)以及產(chǎn)品檢測的要求。好比在電子行業(yè)及芯片制造工業(yè)中，氣體中微小顆粒物的沉積就會造成電氣不良特性甚至更大的破壞。特別是近年來芯片線寬已經(jīng)達到微米和亞微米級，這就對無塵車間的空氣凈化提出了更高的要求。另外，在現(xiàn)代醫(yī)學與藥物及生物工程中，包括中國在內(nèi)的世界各國制定實施的“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范GMP”中也著重對藥品生產(chǎn)過程中空氣中的顆粒物潔凈度提出了要求。特別是隨著《國家中*科學和技術發(fā)展規(guī)劃綱要》的貫徹執(zhí)行，作為16個重大發(fā)展專項的核心電子器件、通用芯片、重大新藥創(chuàng)制將會得到快速發(fā)展，這就使得顆粒計數(shù)測量和監(jiān)測變得更加迫切。

　　據(jù)估計，中國現(xiàn)有的塵埃粒子計數(shù)器生產(chǎn)廠家有10余家，國內(nèi)使用的臺件數(shù)量應不少于3萬臺，這些廠家及用戶具有很強烈的校準檢測需求。要保證空氣中塵埃顆粒測量的準確性，首先需要確保塵埃粒子計數(shù)器本身的準確和可溯源。中國*完成的這項研究，建立了標準粒子計數(shù)器校準裝置，實現(xiàn)了對標準粒子計數(shù)器的粒子計數(shù)示值誤差、粒徑檔設定相對誤差、粒徑測量分辨力校準項目的檢定和校準，不確定度為6.0%（k=2），優(yōu)于國外相同計量校準裝置的技術水平。同時，他們還建立了工作級粒子計數(shù)器校準裝置，實現(xiàn)對工作級（實驗室用、便攜式）粒子計數(shù)器粒子計數(shù)示值誤差的有效校準。

　　在研究中，我們通過采用*的‘激光粒子計數(shù)器——凝結核粒子計數(shù)器——氣溶膠靜電計（或掃描電子顯微鏡）’逐級溯源法，使標準粒子計數(shù)器的粒子計數(shù)值溯源至國家電流標準和傳統(tǒng)的顯微計數(shù)法，保證了粒子計數(shù)的溯源性和準確性。

　　通過該項目的實施，建立了中國塵埃粒子計數(shù)器的計量校準裝置和溯源方法。建立的校準裝置*了中國塵埃粒子計數(shù)器實物計量標準的空白，為中國塵埃粒子計數(shù)器的量值溯源和傳遞提供了堅實的基礎和保障，有力推進了中國《塵埃粒子計數(shù)器》國家校準規(guī)范及《塵埃粒子計數(shù)器性能試驗方法》的有效實施。

　　醫(yī)藥、電子、精密機械、彩管制造、微生物等行業(yè)都對生產(chǎn)無塵車間[ www.qdjinghua.net]的空氣潔凈度要求比較高，控制好空氣中存在的塵埃顆粒數(shù)關系到生產(chǎn)出來的產(chǎn)品質(zhì)量，所以上述行業(yè)車間都必須做無塵車間凈化。埃粒子計數(shù)器就是用于測量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。它可廣泛應用于為藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等機構，以及生物、制藥、半導體、光學或精密機械加工等生產(chǎn)企業(yè)。