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熱式質(zhì)量流量計(jì)  庫(kù)存 庫(kù)號(hào)：M400064              熱式質(zhì)量流量計(jì)  庫(kù)存 庫(kù)號(hào)：M400064 

CS200A質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)

CS200A氣體質(zhì)量流量控制器，采用傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達(dá)到設(shè)定值1%以內(nèi)，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時(shí)，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間方面加岀色。全量程范圍內(nèi)，CS200C產(chǎn)品快可在800ms以內(nèi)達(dá)到設(shè)定流量，響應(yīng)時(shí)間將使用過(guò)程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差小化，所需流量加。

• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。

• CS200產(chǎn)品嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)制造，尺寸符合通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。

• 產(chǎn)品支持RS485，DeviceNet通訊方式。

• 具有多氣體多量程功能、自動(dòng)歸零功能、報(bào)警功能、軟啟動(dòng)功能、延遲功能及功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端使用軟件。

CS200A，甲烷，2SLM，8mm卡套，RS485通訊，大工作壓力0.45MPa,壓差0.05-0.35MPa

技術(shù)參數(shù)

類型： CS200-A

閥類型：常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)或常閉

流量規(guī)格(N2)：(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

準(zhǔn)確度：±1.0% S.P. (≥35% F.S.)

±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

線性：±0.5% F.S.

重復(fù)精度：±0.2% F.S.

響應(yīng)時(shí)間：≤ 1sec

工作壓差范圍：

0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM

0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM

0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM，＜0.02 MPa

大工作壓力：0.45MPa

溫度系數(shù)：零點(diǎn)： ≤±0.05% F.S./℃；

調(diào)節(jié)時(shí)： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規(guī)格≤30SLM

調(diào)節(jié)時(shí)： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規(guī)格＞30SLM

耐壓強(qiáng)度：3MPa

漏率：1×10-10 Pa·m3 / sec He

密封材料：氟橡膠

工作環(huán)境溫度：（5～45）℃

輸入信號(hào)：數(shù)字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA

輸出信號(hào)：數(shù)字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA

零漂：在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年

電源：±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)

表面化學(xué)成分：常態(tài)

表面粗糙度：25 Ra

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式：

雙卡套 φ6；雙卡套 1/4′′；雙卡套 3/8′′；VCR1/4′′陽(yáng)接頭；雙卡套φ3；

雙卡套 1/8′′；VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭；

φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;

電源接頭形式：D 型 9 針陽(yáng)接頭；D 型 15 針陽(yáng)接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭

重量：1 Kg