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表面處理機 庫存號：D208809

表面處理機 庫存號：D208809

表面處理機/可以濺射可以蒸碳 型號:KM1-SBC-2庫號：D208809

多功能試樣表面處理機是為掃描電鏡和電子探針等進行試樣制備的設備，可進行真空蒸碳、真空鍍膜和離子濺射，它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。用本設備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進行成分分析，尤其是成分的定量分析為適宜。本儀器裝有機械泵、分子泵，分子泵系統(tǒng)特別適用于對真空要求高、真空環(huán)境好的用戶選用。

※ 主要用途：真空鍍膜，離子濺射，真空蒸碳等。

※ 主要特點：抽速快，操作簡便，真空度高，。

規(guī) 格

一、試樣處理室

（1）鐘罩：內徑250mm×高度340mm

（2）玻璃處理室：

玻璃罩 A:內徑88mm×高度140mm

玻璃罩 B:內徑88mm×高度57mm

（3）試樣臺：直徑40mm（大）

（4）試樣旋轉：電動

（5）擋板：電動

（6）蒸發(fā)加熱器：可同時安裝兩個加熱器

二、真空系統(tǒng)

（1）抽氣系統(tǒng)：由分子泵、機械泵組成的高真空機組

（2）真空檢測：金屬電阻規(guī)、冷規(guī)

（3）常用真空度：1.3×10-2~ 6×10- 3 Pa

（4）操作：手動

三、處理電源：

（1）高壓電源：DC 2000V 10mA連續(xù)可變，用表指示。

（2）低壓電源：AC 10V 60A連續(xù)可變，電流用表指示。

四、體積重量：

（1）體積：L800mm×W560mm×H1340mm

（2）重量：約150公斤

五、電源要求：AC 220V 50Hz 10A

六、氣體要求：氬氣--純度99.9%(對樣品有特殊要求時可使用)

七、冷卻要求：

本系統(tǒng)采用F100/110F普通軸承風冷渦輪分子泵，其冷卻方式為風扇強制風冷、通水冷卻兩種，當工作環(huán)境溫度低于攝氏32度時，可采用風冷冷卻，當工作環(huán)境溫度高于攝氏32度時，則采用水冷。目前本系統(tǒng)標配為風扇風冷形式。