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四探針測試儀（手動帶軟件） 庫存：D406398

四探針測試儀（手動帶軟件） 庫存：D406398

四探針測試儀（手動帶軟件） 型號:TZ24-RTS-8庫號：D406398

RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

儀器由主機、測試臺、四探針探頭、等部分組成，測量數(shù)據既可由主機直接顯示，亦可由控制測試采集測試數(shù)據到中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。

儀器采用了電子進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

RTS-8型四探針測試儀前面板

RTS-8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據并對測試數(shù)據進行統(tǒng)計分析。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據，把采集到的數(shù)據在中加以分析，然后把測試數(shù)據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據進行各種數(shù)據分析

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技　術　指　標 ：

測量范圍

電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)；

方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴展)；

電導率：10-5～105 s/cm；

電阻：10-5～105 Ω；

可測晶片直徑

140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；

200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；

400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源

電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調

數(shù)字電壓表

量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

分辨力：10μV；

輸入阻抗：>1000MΩ；

精度：±0.1% ；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、量程自動顯示；

四探針探頭基本指標

間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機械游移率：≤0.3%；

探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；

探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數(shù)

(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差

( 按JJG508-87進行)

0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量大相對誤差

(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度

≤5%

測試模式

可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能（選配）

軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據生成直方圖，也可把測試數(shù)據輸出到Excel中，對數(shù)據進行各種數(shù)據分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

通訊接口

并口，高速并行采集數(shù)據，連接電腦使用時采集數(shù)據到電腦的時間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。

標準使用環(huán)境

溫度：23±2℃；

相對濕度：≤65%；

無高頻干擾；

無強光直射；