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受光部一體型，無(wú)需繁瑣的光軸調(diào)整。并且，檢測(cè)距離及檢測(cè)寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域，可對(duì)應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。
模擬輸出(1～5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外，還具備方便的偏移調(diào)整功能，可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
原裝panasonic傳感器,松下結(jié)構(gòu)圖
使用安全的紅色LED作為光源，無(wú)需任何繁雜的安全措施。無(wú)需使用激光時(shí)的保護(hù)罩，在美國(guó)使用時(shí)不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。
使用ONE SHOT連接器將檢測(cè)頭與控制器連接。配線工時(shí)降至限度，維護(hù)輕松。
檢測(cè)頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的低功耗。
在傳感器背面設(shè)置前端和中心部?jī)蓚€(gè)檢測(cè)部。傳感器前方發(fā)生漏液時(shí)，如果前端檢測(cè)部檢測(cè)微量的初期漏液，漏液增多直至中心部，則傳感器檢測(cè)到異常漏液。
以往，漏液的雙重檢測(cè)是在不同的高度設(shè)置兩臺(tái)傳感器，現(xiàn)在一臺(tái)傳感器即可檢測(cè)。
雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高性能，因此可實(shí)現(xiàn)高精度檢測(cè)。
使用控制器的安全輸入功能，可輸入控制器的過(guò)渡接線、緊急停止開(kāi)關(guān)和安全門開(kāi)關(guān)等的安全用接點(diǎn)
(2NC)。將安全輸出集中到一個(gè)，力求節(jié)省安全回路的配線、降低成本。
投、受光部一體型，無(wú)需繁瑣的光軸調(diào)整。并且，檢測(cè)距離及檢測(cè)寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域，可對(duì)應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。
模擬輸出(1～5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外，還具備方便的偏移調(diào)整功能，可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。
控制器配備兩個(gè)獨(dú)立的CPU，相互檢查動(dòng)作狀態(tài)。信號(hào)處理回路和輸出回路雙重設(shè)置，確保安全性。為了進(jìn)一步保證安全動(dòng)作，通過(guò)FMEA※追求更高安全性
特點(diǎn)
【NEW】新推出檢測(cè)距離8mm的長(zhǎng)距離型(GX-15型)
GX-15型實(shí)現(xiàn)了動(dòng)作距離8.0mm±8%的長(zhǎng)距離型的添加。 |
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傳感器易于設(shè)置 (GX-6型)
對(duì)于新的安裝支架[MS-GX6-1(另售)]，1顆M3螺絲就可以對(duì)傳感器進(jìn)行安裝。同時(shí)，緊貼安裝，能夠節(jié)省電纜。 |
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原裝panasonic傳感器,松下結(jié)構(gòu)圖
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