離子濺射儀型號(hào):KD02-JS-1600庫(kù)號(hào)：M389279  

離子濺射儀采用二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)，適用于掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備,非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。  

主要規(guī)格和技術(shù)指標(biāo)：  

1.靶（上部電極）：材料：金，直徑：50mm，厚度：0.1mm純度：99.999%  

2、真空室：直徑：160mm，高：110mm  

3.樣品臺(tái)（下部電極）：濺射面積：直徑：50mm  

4．工作真空：8×10-2—2×10-1mbar  

5.離子電流表：電流：50mA  

6.數(shù)顯計(jì)丨時(shí)器：根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時(shí)間。  

7.濺射電壓：-1600DVC  

8.真空泵（VTD-4）:1.1升/每秒  

9.工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣等多種氣體  

10．針閥：配有進(jìn)氣口，微量充氣調(diào)節(jié)，可連接φ4*2.5mm軟管  

11.外型尺寸：360mm×300mm×380mm