高真空磁控濺射儀（手套箱內(nèi)用）型號(hào):TJM10-SD-650MHG庫號(hào)：M269312
技術(shù)參數(shù):
真空泵------ -.(泵油)旋轉(zhuǎn)真空泵+(免油)渦輪分子泵組
旋轉(zhuǎn)真空泵轉(zhuǎn)速------- 50 Hz:16m3/h(4.4L/s)/60 Hz:19.2m3/h(5.2 L/s)
分子泵轉(zhuǎn)速--
300 L/S
真空度.------ .5x 10的負(fù)五次方Pa
工作壓..---- .0.5～5 Pa
抽真空時(shí)間------ >10 Min(10的負(fù)3次Pa)
真空測(cè)量-------- -測(cè)量范圍從大氣壓到10的負(fù)5次Pa
氣體控制
氣體流量控制閥
-----φ260*200mm(高)金屬
磁控靶.------------------靶尺寸φ50*3mm(Cu)/濺射靶源:弱磁性物質(zhì)/材料
操作方法-------------------.操作手冊(cè)
重量/------------------100kg/610mm長x 420mm寬x 490mm高
工作源-------------------.AC 220V 50Hz
冷卻方式.------------------風(fēng)冷(泵)+水冷(濺射靶)

高真空磁控濺射儀（手套箱內(nèi)用）型號(hào):TJM10-SD-650MHG庫號(hào)：M269312
技術(shù)參數(shù):
真空泵------ -.(泵油)旋轉(zhuǎn)真空泵+(免油)渦輪分子泵組
旋轉(zhuǎn)真空泵轉(zhuǎn)速------- 50 Hz:16m3/h(4.4L/s)/60 Hz:19.2m3/h(5.2 L/s)
分子泵轉(zhuǎn)速--
300 L/S
真空度.------ .5x 10的負(fù)五次方Pa
工作壓..---- .0.5～5 Pa
抽真空時(shí)間------ >10 Min(10的負(fù)3次Pa)
真空測(cè)量-------- -測(cè)量范圍從大氣壓到10的負(fù)5次Pa
氣體控制
氣體流量控制閥
-----φ260*200mm(高)金屬
磁控靶.------------------靶尺寸φ50*3mm(Cu)/濺射靶源:弱磁性物質(zhì)/材料
操作方法-------------------.操作手冊(cè)
重量/------------------100kg/610mm長x 420mm寬x 490mm高
工作源-------------------.AC 220V 50Hz
冷卻方式.------------------風(fēng)冷(泵)+水冷(濺射靶)