四探針測(cè)試儀(手動(dòng)帶軟件）型號(hào):TZ24-RTS-8庫(kù)號(hào)：M403790  

RTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的綜合測(cè)量設(shè)備。用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。  

儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。  

本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。RTS-8型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有測(cè)試界面的用戶程序，通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶進(jìn)行測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。  

測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析  

技術(shù)指標(biāo)：  

測(cè)量范圍  

電阻率：10-5～105Ω.cm(可擴(kuò)展)；  

方塊電阻：10-4～106Ω/□(可擴(kuò)展)；  

電導(dǎo)率：10-5～105s/cm；  

電阻：10-5～105Ω；  

可測(cè)晶片直徑  

140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；  

200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))；  

400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))；  

恒流源  

電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)  

數(shù)字電壓表  

量程及表示形式：000.00～199.99mV；  

分辨力：10μV；  

輸入阻抗：>1000MΩ；  

±0.1%；  

顯示：四位半紅發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、過(guò)量程自動(dòng)顯示；  

四探針探頭基本指標(biāo)  

間距：1±0.01mm；  

針間絶緣電阻：≥1000MΩ；  

機(jī)械游移率：≤0.3%；  

探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；  

探針壓力：5～16牛頓(總力)；  

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)  

(見(jiàn)探頭附帶的合格證)  

模擬電阻測(cè)量相對(duì)  

(按JJG508-87進(jìn)行)  

0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字  

整機(jī)測(cè)量大相對(duì)  

(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%  

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度  

≤5%  

測(cè)試模式  

可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試  

軟件功能（選配）  

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。  

計(jì)算機(jī)通訊接口  

并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間需要1.5秒（在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí)）。  

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境  

溫度：23±2℃；  

相對(duì)濕度：≤65%；  

無(wú)高頻干擾；  

無(wú)強(qiáng)光直射；