勻膠旋涂儀Spin Coater型號:WS-650Mz-23NPPB庫號：M406433

一、設(shè)備用途和特點：

1、用途：主要用微細(xì)加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。設(shè)備能滿足各類以下尺寸的基片處理要求，并配制相應(yīng)的托盤夾具。驗收除按賣方提供的標(biāo)準(zhǔn)基片外，另外可根據(jù)買方要求的10mm的碎片和4英寸的晶圓片等驗收試驗要求。

2、特點：

（1）外觀整潔、美觀，占地面積小，節(jié)省凈間的使用面積；（2）材質(zhì)易于清洗和維護(hù)，設(shè)備結(jié)構(gòu)布局合理，用戶操作、使用、維

修方便；（3）采用成熟、的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)方式，確保設(shè)備工作的性；

（4）設(shè)備具備高性能、低故障率、長使用壽命、易操作維修、造型美觀、售后服務(wù)完備。

二、設(shè)備配置明細(xì)

設(shè)備具體配置如下

POS.QTY.PART DESCRIPTION

項目號數(shù)量部件名稱描述

1 1勻膠機(jī)主機(jī)WS?650Mz?23NPPB

勻膠機(jī)主機(jī)

2 1真空泵Vacuum Pump Rock300

配套真空泵浦Rock300

3 1真空托盤Spinner Chuck 50~150mm

勻膠托盤50~150mm

4 1真空托盤Spinner Adapter 10~50mm

勻膠轉(zhuǎn)接托盤10~50mm

5 1系統(tǒng)附件含密封圈若干、標(biāo)準(zhǔn)樣片、水平儀、連接管

若干

6 1操作軟件Spin 3000 Software

Spin 3000操作軟件

7 1安裝文檔Installation Documents

安裝文檔

三.設(shè)備技術(shù)資料

勻膠機(jī)臺

1．系統(tǒng)概述

1.1嵌鎖，系統(tǒng)蓋板具有嵌鎖裝置，確保操作；

1.2防腐裝置；

1.3*設(shè)有保護(hù)氣體裝置：旋涂過程中對旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)；

1.4通信接口，藍(lán)牙連接

2．處理腔體

2.1處理腔體內(nèi)徑不小于9.5英寸(241毫米)；

2.2*Wafer芯片尺寸至少滿足10?150mm直徑的材料，方片125x125mm，

無需換片托；

2.3腔體具有易清潔的NPP天然聚材質(zhì)；

3．旋轉(zhuǎn)馬達(dá)

3.1轉(zhuǎn)動速度至少滿足0?12,000rpm，

3.2旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；

3.3馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速性能不過±1%；4．控制系統(tǒng)

4.1工藝時間設(shè)定范圍至少滿足1?5999.9 sec/step，不過0.1s；

4.2配有高PLC可編程的控制器，設(shè)置點小于0.006%；

4.3可存儲不少于20個程序段，每個程序段可設(shè)置不少于51個不同步驟的速度狀態(tài)；

4.4*分辨率要小于0.5RPM，重復(fù)性要小于±0.5RPM，具有標(biāo)準(zhǔn)，并且無需再校準(zhǔn)；

5．配套泵浦

5.1配套真空泵系統(tǒng)：無油型220~240伏交流，50/60赫茲；

5.2真空吸附范圍25?28英寸汞柱(~635?711毫米汞柱)可調(diào)節(jié)，抽速不小于4.5 SCFM(0.11立方米/分鐘)；

6．系統(tǒng)附件

6.1*免費贈送基于Windows的操作軟件；

6.2 水平測試儀；

6.3兩袋密封圈；

*配有兩套可換的廢液接收單元；

四.設(shè)備運行條件

4?1．設(shè)備條件要求

1.環(huán)境要求

a)無塵室1000級或者

b)溫濕度溫度：22±3°C°C

濕度：45~70%

c)安裝維護(hù)距離與其他設(shè)備或者墻面距離≥30cm

d)設(shè)備尺寸以及重量長寬高：420mm x 380 mm x 290mm

重量：15kg

2.電力要求220 V±10%,16 A,50 Hz

3.動力要求

a)真空25~28 Inches Hg

b)氮氣60?70 PSI

c)干燥空氣60?70 PSI

五.售后服務(wù)

5?1.設(shè)備保修期為設(shè)備驗收合格后1年(保修期內(nèi)免費提供非人為因素?fù)p

壞的備件及服務(wù))，并長期提供技術(shù)支持。

5?2機(jī)器發(fā)生故障時,供方在24小時內(nèi)明確回復(fù)。

5?3如果未能解決問題,供方工程師應(yīng)在2個工作日內(nèi)與用方達(dá)成故障解決

方案。

5?4設(shè)備保修期內(nèi)，損壞的備件原則上賣方應(yīng)在1個工作日內(nèi)明確回復(fù)備

件的交貨期限。并當(dāng)供方倉庫有備件庫存時,在1個工作日內(nèi)寄出。

5?5保修期結(jié)束后，供方應(yīng)在收到買方定單后1個工作日內(nèi)明確回復(fù)備件

的交貨期限。

5?6保修期結(jié)束后，供方應(yīng)優(yōu)惠供應(yīng)相關(guān)備件。涉及的相關(guān)技術(shù)服務(wù)盡量

免費解決，不可避免的收費項目，賣方應(yīng)提供優(yōu)惠，屆時協(xié)商解決。

5?7供方承諾向用方長期優(yōu)惠供應(yīng)設(shè)備相關(guān)的耗材。

5?8售后服務(wù)，人員安排由雙方協(xié)商確定。

5?9針對中國客戶操作員頻繁換的特點，公司每年提供所在城市的免費設(shè)備巡檢服務(wù)，檢查設(shè)備潛在故障和隱患，培訓(xùn)新操作人員。