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東莞市力高大同自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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半導(dǎo)體曲線圖示儀CS-8000系列

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產(chǎn)品型號(hào)CS-8000系列

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)　　述： CS-8000 系列半導(dǎo)體曲線示蹤儀是所有過程表征的理想選擇，具有多種單元的組合，并與下一代半導(dǎo)體測(cè)量兼容。

詳細(xì)介紹

[新品] CS-8000 半導(dǎo)體曲線描繪儀

高達(dá) 5kV，高達(dá) 2000A 的大功率測(cè)試
精確的微電流測(cè)量（分辨率 250fA）
12.1英寸大觸摸屏
多種GATE信號(hào)輸出功能
廣泛的溫度特性測(cè)量選項(xiàng)
使用探針進(jìn)行高功率晶圓測(cè)試

CS-8000 系列半導(dǎo)體曲線示蹤儀是所有過程表征的理想選擇，具有多種單元的組合，并與下一代半導(dǎo)體測(cè)量兼容。

主要規(guī)格	柵極電壓	電壓范圍	測(cè)量電流	電流測(cè)量分辨率
主要規(guī)格	± 40V	0.2至5 kV	2千安培	250毫安

實(shí)測(cè)
優(yōu)勢(shì)

與 SiC 和 GaN 器件兼容
與晶圓和低功率設(shè)備兼容
兼容大功率設(shè)備
支持微小電流測(cè)量

用戶友好的用戶界面

配備 12.1 英寸 TFT-LCD (1,280 x 800) 高清大屏幕顯示器。除了觸摸屏操作外，前面板上的功能鍵和每個(gè)功能的獨(dú)立旋鈕可實(shí)現(xiàn)直觀的操作。。

(1) X-Y顯示區(qū)

X、Y軸可分別設(shè)置任意電壓/電流參數(shù)，顯示Vds-Id特性、閾值電壓、Vds-Vgs飽和特性等各種半導(dǎo)體特性曲線。此外，您還可以為 Y 軸設(shè)置多個(gè)參數(shù)。刻度可以在對(duì)數(shù)/線性之間切換。

②Y-T顯示區(qū)

像示波器一樣在時(shí)間軸上顯示測(cè)量的應(yīng)用波形。可實(shí)時(shí)確認(rèn)脈沖寬度、測(cè)量點(diǎn)數(shù)、振蕩等波形異常，可輕松確認(rèn)是否進(jìn)行了正確的測(cè)量。所有施加的波形數(shù)據(jù)都可以與 XY 顯示數(shù)據(jù)同時(shí)保存，從而可以重新驗(yàn)證測(cè)量結(jié)果。

③ 測(cè)量數(shù)據(jù)顯示區(qū)

詳細(xì)的測(cè)量結(jié)果、測(cè)量條件和狀態(tài)以文本格式顯示。

④配置設(shè)置區(qū)

設(shè)置設(shè)備測(cè)量配置。圖形顯示支持電壓/電流單位選擇和接線更改。

⑤ 參數(shù)設(shè)置區(qū)

在此區(qū)域中，您可以設(shè)置測(cè)量參數(shù)和測(cè)量限值，并在手動(dòng)和自動(dòng)測(cè)量之間切換。

⑥ 操作面板

按鈕和旋鈕位于前面板上，便于手動(dòng)測(cè)量。數(shù)字鍵盤允許輸入?yún)?shù)的數(shù)字。DRAIN/COLLECTOR、GATE/BASE、垂直軸和水平軸旋鈕可輕松進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量。

應(yīng)用程序的輸出源

可根據(jù)應(yīng)用任意選擇測(cè)量所需的電壓和電流單位。

右邊的照片是

上排：測(cè)試治具

下排：大電流單元

■高壓機(jī)組

2kV、5kV高壓機(jī)組。可選擇直流/脈沖波。可選擇恒壓/恒流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。

主機(jī)	CS-8200	CS-8500
電壓（電流）	2kV (20mA)	5kV (8mA)
波形	直流、脈沖
極性	正面及負(fù)面
測(cè)量電流分辨率	250 毫安

■ MV單元（所有主要單元通用）

電壓（電流）	200V (2A)
波形	DC (200 mA)、脈沖 (2 A)、 SIN、半波、全波
極性	正/負(fù)/雙極
測(cè)量電流分辨率	250 毫安

200V 中壓裝置。可選擇恒壓/恒流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。除了 DC 和脈沖波形外，還可以選擇 SIN、半波和全波波形。

■ GATE 單元（所有主要單元通用）

它是一個(gè) 40V 單元。可選擇恒壓/恒流驅(qū)動(dòng)測(cè)量。除DC外，還可以選擇脈沖、SIN。

電壓（電流）	40V (1A)
波形	直流、脈沖、正弦
極性	正/負(fù)/雙極
測(cè)量電流分辨率	250 毫安

■ 碳?xì)浠衔飭卧?/strong>

碳?xì)浠衔?/span> 單元	CS-205	CS-210	CS-220
電流（電壓）	500A (50V)	1kA (50V)	2kA (50V)
波形	脈沖
脈沖寬度	10 微秒至 1 毫秒	10 微秒至 500 微秒
極性	正面及負(fù)面

安裝大電流模式后，可支持高達(dá)2000A的大電流測(cè)量。可以更改脈沖寬度、測(cè)量間隔和測(cè)量范圍。

最小電流分辨率 250 fA

通過采用三軸設(shè)計(jì)和優(yōu)化測(cè)量系統(tǒng)，減少了設(shè)備內(nèi)部的泄漏和噪音，從而可以穩(wěn)定地測(cè)量微小電流。

多功能 GATE 信號(hào)輸出

GATE 信號(hào)可以按順序輸出并應(yīng)用。

保持時(shí)間可變范圍

0.000[s] 至 5.000[s]

備用信號(hào)電壓范圍

GATE 側(cè) -40[V] 至 +40[V]

高壓機(jī)組
CS-8000系列主要規(guī)格
主機(jī)型號(hào)名稱	CS-8020	CS-8200	CS-8500
峰值電壓（電流）	―	2kV (20mA)	5kV (8mA)
測(cè)量電壓范圍（滿刻度）	―	2kV 至 50V	5kV 至 50V
測(cè)量電流范圍	―	20mA 至 50uA	20mA 至 50uA
最小測(cè)量電流分辨率	―	250 毫安	250 毫安
波形	―	直流/脈沖	直流/脈沖
中壓?jiǎn)挝?/span>
峰值電壓（電流）	200V (1A)
測(cè)量電壓范圍（滿刻度）	200V 至 200mV
測(cè)量電流范圍	2A 至 5nA
最小測(cè)量電流分辨率	250 毫安
波形	DC (200 mA)、脈沖 (2 A)、SIN、半波、全波
門單元
峰值電壓（電流）	40V (1A)
測(cè)量電壓范圍（滿刻度）	50V 至 1V
測(cè)量電流范圍	1A 至 5nA
最小測(cè)量電流分辨率	250 毫安
波形	直流/脈沖/正弦波 (50 赫茲)
標(biāo)準(zhǔn)配件	電源線、控制接口端接器、使用說明書（小冊(cè)子+CD）

HC 單元型號(hào)名稱	CS-205	CS-210	CS-220
峰值電流（電壓）	500A (50V)	1,000A (50V)	2,000A (50V)
測(cè)量電壓范圍（滿刻度）	50V 至 200mV	50V 至 200mV	50V 至 200mV
測(cè)量電流范圍	500A至5A	1,000A 至 5A	2,000A 至 5A
波形	脈沖（10 μs 至 1 ms 寬度）	脈沖（10 μs 至 500 μs 寬度）	脈沖（寬度 10 μs 至 500 μs）
標(biāo)準(zhǔn)配件	電源線、HC-FIXTURE連接裝置、使用說明書

* 使用 HC 裝置時(shí)，需要單獨(dú)的檢測(cè)電纜。

測(cè)試治具型號(hào)名稱	CS-320MV（即將推出）	CS-322HV/HC
標(biāo)準(zhǔn)配件	電源線、標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)線組（CS-005 7 件套）、使用說明書
標(biāo)準(zhǔn)配件	―	高壓/高壓電纜 (2)

*連接測(cè)試夾具時(shí)，需要單獨(dú)的電纜。

■ 電纜套件（連接測(cè)試夾具和 HC 單元時(shí)使用。）
電纜組名稱	型號(hào)	產(chǎn)品名稱
CS-020 MV標(biāo)準(zhǔn)電纜組（CS-320 的推薦設(shè)置）	CS-026	7 根三軸電纜 (L=1.0 m)
	CS-027	1 條控制接口電纜 (L=1.0 m)
	CS-028	1 聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜 (L=1.0 m)
CS-021 高壓標(biāo)準(zhǔn)電纜組（CS-322 的推薦設(shè)置）	CS-025	2 根高壓電纜 (L=1.0 m)
	CS-026	7 根三軸電纜 (L=1.0 m)
	CS-027	1 條控制接口電纜 (L=1.0 m)
	CS-028	1 聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜 (L=1.0 m)
CS-022 HC 標(biāo)準(zhǔn)電纜套件（HC 單元的推薦設(shè)置）	CS-027	1 條控制接口電纜 (L=1.0 m)
	CS-028	1 聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜 (L=1.0 m)

遲滯測(cè)量

CS-8000 具有測(cè)量 SiC 和 GaN 等具有滯后效應(yīng)的寬帶隙半導(dǎo)體的便捷功能。

雙掃功能同時(shí)顯示上掃和下掃，可以觀察滯后現(xiàn)象。

安全機(jī)制

除了互鎖功能外，它還具有輸出限制功能。

您可以為電壓、電流和功率設(shè)置限制值，以防止損壞 DUT。

此外，硬件過流保護(hù)功能在電流為量程的1.4倍時(shí)切斷電流。

組合配置

可根據(jù)測(cè)量對(duì)象的電壓和電流選擇 HC 單元和夾具。

■ 配置示例		在 2 kV、2,000 A 下使用時(shí)
	主機(jī)		CS-8200	附件電纜
	碳?xì)浠衔飭卧?/strong>		CS-220		高壓標(biāo)準(zhǔn)電纜組	CS-021
	測(cè)試治具		CS-322HV/HC		HC 標(biāo)準(zhǔn)電纜套件	CS-022

關(guān)鍵詞：觸摸屏顯示器示波器

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