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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      河南海恒實(shí)業(yè)有限公司


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      LSCE-800接觸式曝光機(jī)

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      品       牌

      廠(chǎng)商性質(zhì)其他

      所  在  地鄭州市

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      更新時(shí)間:2024-05-15 12:31:23瀏覽次數(shù):255次

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      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      LSCE-800接觸式曝光機(jī)LSCE-800接觸式曝光機(jī)指掩膜板直接與基板的光刻膠層接觸,曝光出來(lái)的圖形與掩膜板上的圖形分辨率準(zhǔn)確度高,設(shè)備簡(jiǎn)單,線(xiàn)寬可達(dá)800nm;可以配合使用多種型號(hào)的正光阻和負(fù)光阻;適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,光電電子,平板,射頻微波,衍射光學(xué),微機(jī)電系統(tǒng),凹凸或覆......

      詳細(xì)介紹

      • 用途:接觸式曝光指掩膜板直接與基板的光刻膠層接觸。曝光出來(lái)的圖形與掩膜板上的圖形分辨率準(zhǔn)確度高,設(shè)備簡(jiǎn)單;
        1.半導(dǎo)體制造;
        2.光電電子、平板;
        3.射頻微波,衍射光學(xué);
        4.微機(jī)電系統(tǒng);
        5.凹凸或覆晶設(shè)備等。
      • 主要規(guī)格:線(xiàn)寬可達(dá)800nm;可以配合使用多種型號(hào)的正光阻和負(fù)光阻;
      • 適用晶片尺寸:樣品尺寸不能大于6英寸。
      • 產(chǎn)品特點(diǎn):
        1.分辨率準(zhǔn)確;
        2.更廣范圍的紫外光波長(zhǎng)選擇;
        3.支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式;
        4.廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)域。



      • 儀器詳細(xì)參數(shù):


      • 尺寸:170 cm*130 cm*180 cm


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