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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地承德市
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更新時間：2024-04-16 14:37:53瀏覽次數(shù)：165次
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CIF推出等離子去膠機(jī)，采用電感耦合各向同性（各個方向）等離子激發(fā)方式，適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠。其外觀美學(xué)設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，漂亮大氣，優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計，使得處理樣品量更大，適用范圍更廣，性能更穩(wěn)定，操作更簡便，性價比更高，使用成本更低，實(shí)用性更強(qiáng)，更容易維護(hù)。特別適合于大學(xué)，科研院所和微電子、半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)驗室，對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基樹脂、MEMS......
產(chǎn)品特點(diǎn)：
u PLC工控機(jī)控制整個去膠過程，全自動進(jìn)行。
u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，0~99個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)，機(jī)器運(yùn)行、停止提示。手動、自動兩種工作模式。
u 采用石英真空倉，全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。
u 采用抽拉式艙門設(shè)計，可選用石英舟，更適合晶元硅片去膠應(yīng)用。
u 有效處理面積大，可處理直徑200mm晶元硅片。
u 采用防腐數(shù)字流量計控制，標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)，氣體分配均勻?？奢斎?/font>氧氣、氬氣、氮?dú)?、四氟化碳、氫氣或混合?/font>等氣體。
u 具備HEPA高效過濾氣體返填吹掃功能。
u 處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。
u 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。
u 安全保護(hù)，倉門打開，自動關(guān)閉電源。
技術(shù)參數(shù)
型號 | SPB-5 | SPB-5plus |
艙體尺寸 | D260xΦ155mm | D260xΦ155mm |
艙體容積 | 5L | 5L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
激發(fā)方式 | 電感耦合 | 電感耦合 |
射頻功率 | 10-300W可調(diào) | 10-300W可調(diào)（可選10-600W） |
處理尺寸 | Φ150m | Φ150m |
真空系統(tǒng) | 石英真空倉、316不銹鋼材質(zhì)真空管路 | |
氣體控制 | 質(zhì)量流量計（MFC）（標(biāo)配單路，可選雙路）流量范圍0-500SCCM（可調(diào)） | |
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合氣體等（可選） | |
時間設(shè)定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速約8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | |
極限真空 | ≤1Pa | |
電 源 | AC220V 50-60Hz，所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。 | |
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