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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      賽福儀器承德有限公司


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      CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-12系列

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      產(chǎn)品型號(hào)

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地承德市

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      更新時(shí)間:2024-04-16 14:34:22瀏覽次數(shù):142次

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      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中試生產(chǎn)、模擬生產(chǎn)條件的等離子體清洗設(shè)備,幾乎具備等離子體清洗設(shè)備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價(jià)比高,易維護(hù),處理快速高效,特別適合于大學(xué),科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn)。

      詳細(xì)介紹

      產(chǎn)品特點(diǎn):

      PLC工控機(jī)控制整個(gè)清洗過(guò)程,全自動(dòng)進(jìn)行。

      7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面,實(shí)時(shí)工作參數(shù)狀態(tài)直觀顯示。

      手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

      數(shù)字流量計(jì)控制,控制更準(zhǔn)確。

      符合人體功能學(xué)的60度傾角操作界面設(shè)計(jì),操作方便,界面友好。

      頂置真空倉(cāng),上開(kāi)蓋設(shè)計(jì),下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)方式。

      上置式360度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作更方便。

      有效處理面積大,可處理8寸硅片去膠等應(yīng)用。

      可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品,進(jìn)行清洗和改性。

      安全保護(hù),倉(cāng)門打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。

      技術(shù)參數(shù):

      型號(hào)

      CPC-12

      CPC-12plus

      艙體尺寸

      H120xΦ370mm  

      H120xΦ370mm

      艙體容積

      12.8L

      12.8L

      射頻電源

      40KHz

      13.56MHz

      匹配器

      自動(dòng)匹配

      自動(dòng)匹配

      射頻功率

      10-300W可調(diào)

      10-300W可調(diào)

      氣體控制

      質(zhì)量流量計(jì)(MFC)(標(biāo)配單路,可選雙路)

      處理尺寸

      Φ370mm圓盤

      產(chǎn)品尺寸

      L618xW520xH465mm

      包裝尺寸

      L750xW640xH570mm

      時(shí)間設(shè)定

      1-99分59秒

      真空泵

      抽速約8m3/h

      氣體穩(wěn)定時(shí)間

      1分鐘

      真空度

      100pa以內(nèi)

      電 源

      AC220V 50-60Hz  


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