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      鄭州科探儀器設備有限公司


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      直流磁控濺射真空鍍膜設備

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      參  考  價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準

      產品型號

      品       牌

      廠商性質其他

      所  在  地鄭州市

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      更新時間:2024-05-03 13:22:25瀏覽次數:122次

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      產品簡介

      直流磁控濺射真空鍍膜設備,7寸人機界面,自動手動模式切換控制,功率1000w直流磁控濺射

      詳細介紹

      直流磁控濺射真空鍍膜設備,7寸人機界面,自動手動模式切換控制,功率1000w直流磁控濺射

      單靶直流磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備,特別適用于實驗室研究固態(tài)電解質及OLED等

      單靶直流磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發(fā)的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模塊化、可定制化的特點。

      所配電源為1000W大功率直流電源,可用于高能量的金屬濺射鍍膜,根據實驗需求也可以選配其他規(guī)格的直流或者射頻電源來實現(xiàn)各種材料的鍍膜操作。

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      直流磁控濺射真空鍍膜設備技術參數;

      控制方式

      7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

      濺射電源

      直流濺射電源

      鍍膜功能

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      功率

      ≤1000W

      輸出電壓電流

      電壓≤1000V  電流≤1A

      真空

      機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

      濺射真空

      ≤30Pa

      擋板類型

      電控

      真空腔室

      不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

      樣品臺

      可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

      樣品臺轉速

      8轉/分鐘

      樣品濺射源調節(jié)距離

      40-105mm

      真空測量

      皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

      預留真空接口

      KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口






      關鍵詞:人機界面

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