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      行業(yè)產(chǎn)品

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      鄭州科探儀器設(shè)備有限公司


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      等離子體技術(shù)應(yīng)用

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      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地鄭州市

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      更新時間:2024-05-03 09:42:49瀏覽次數(shù):53次

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      產(chǎn)品簡介

      該等離子體技術(shù)應(yīng)用內(nèi)置高純石英倉體,采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時與大型清洗機相比較,從檢測功能與控制功能的設(shè)置上均可一個面板上操作,特別適用科學(xué)實驗 樣品清洗 和教學(xué)。

      詳細介紹

      等離子體技術(shù)應(yīng)用作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔等目的。

      等離子體技術(shù)應(yīng)用主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實驗等。

      內(nèi)置高純石英倉體,采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時與大型清洗機相比較,從檢測功能與控制功能的設(shè)置上均可一個面板上操作,特別適用科學(xué)實驗 樣品清洗 和教學(xué)。

       



      設(shè)備型號

      KT-Z2DQX

      KT-S2DQX

      KT-Z5DQX

      控制方式

      7寸觸摸屏人機界面

      7寸觸摸屏人機界面

      7寸觸摸屏人機界面

      供電電源

      AC220VAC110V可選)

      工作電流

      整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

      射頻電源功率

      1000W

      150W

      300W

      匹配方式

      自動匹配

      手動匹配

      自動匹配

      清洗頻率

      40KHz

      13.56MHz

      耦合方式

      電容耦合

      工作真空

      ≤50Pa

      腔體材質(zhì)

      高純石英

      腔體容積

      2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)

      2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)

      5L(內(nèi)徑160MMX深度310MM)

      觀察窗內(nèi)徑

      Φ50

      Φ50

      Φ70

      氣體流量

      0-300ml/min(熱式質(zhì)量流量傳感器X2個)

      真空計量程

      1E5Pa1E-1Pa(皮拉尼真空計)

      過程控制

      手動/自動切換

      手動/自動切換

      手動/自動切換

      清洗時間

      自動開關(guān)

      開蓋方式

      鉸鏈側(cè)開式法蘭

      外形尺寸

      150*500*250mm

      450*460*370mm

      530*580*420mm

      重量

      20kg

      35kg

      40kg

      真空室溫度

      小于65°C

      冷卻方式

      強制風(fēng)冷

      標(biāo)配

      KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網(wǎng)匣1個,電源線一根,說明書一本。


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