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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地鄭州市
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更新時間：2024-05-03 08:18:51瀏覽次數(shù)：52次
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真空低溫探針臺主要應(yīng)用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本
真空低溫探針臺主要應(yīng)用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本
真空低溫探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。
1、總體規(guī)格
尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）
自重：約80Kg
2、結(jié)構(gòu)與特點
（1）真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）
（2）探針控制：標配4個探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
（3）顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字攝像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機械調(diào)焦和光學調(diào)焦
（4）變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K?？販胤€(wěn)定性優(yōu)于±0.02K
（5）可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖
（6）系統(tǒng)直流漏電低于1pA
3、含進口分子泵機組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀
4、設(shè)備照片（因配置不同，照片僅供參考）
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