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陜西麥創(chuàng)電子科技有限公司
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更新時(shí)間:2024-04-03 16:33:22瀏覽次數(shù):99次
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微納電子教學(xué)套件(工藝版)是便攜式微納電子學(xué)工藝教學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的一部分,該產(chǎn)品模擬工業(yè)半導(dǎo)體工藝技術(shù),提供交互式的半導(dǎo)體單步工藝、器件制造工藝的仿真體驗(yàn)
微納電子教學(xué)套件(工藝版)是便攜式微納電子學(xué)工藝教學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的一部分,該產(chǎn)品模擬工業(yè)半導(dǎo)體工藝技術(shù),提供交互式的半導(dǎo)體單步工藝、器件制造工藝的仿真體驗(yàn)。
產(chǎn)品簡介
半導(dǎo)體工藝已經(jīng)進(jìn)入7nm FinFET時(shí)代,然而相關(guān)教學(xué)材料(如教科書、課堂講義和實(shí)驗(yàn)設(shè)備)卻極大地落后于時(shí)代步伐,甚至其中一些教學(xué)素材仍然在使用20年前的內(nèi)容。這使得學(xué)生所掌握的知識(shí)與實(shí)際半導(dǎo)體行業(yè)要求差距甚遠(yuǎn)。
微納電子教學(xué)套件(工藝版)是一款基于“虛擬化”教學(xué)的創(chuàng)新型產(chǎn)品,適合于高校及其它教育機(jī)構(gòu),限度地減小教學(xué)與工業(yè)界的差距。涵蓋現(xiàn)代半導(dǎo)體的主要單步工藝(清洗、氧化、淀積、光刻、刻蝕、離子注入、擴(kuò)散和化學(xué)機(jī)械拋光等),模擬操作單步工藝的方法、材料以及設(shè)備參數(shù)的設(shè)定。涉及MOSFET、FinFET、LDMOS和GaN等多種半導(dǎo)體器件的制造工藝流程,包括制造流程中每步工藝的參數(shù)設(shè)定等實(shí)踐操作。并支持工藝版SEK產(chǎn)品與器件版SEK產(chǎn)品的互連(通過BNC接口),實(shí)現(xiàn)對(duì)完成工藝制造流程器件的電學(xué)特性測(cè)量。該教學(xué)套件擁有人性化的圖形交互界面,實(shí)驗(yàn)箱集成了可按鍵操作的液晶顯示屏,模擬實(shí)際工藝設(shè)備的操作面板,強(qiáng)化工藝學(xué)習(xí)的實(shí)踐性。微納電子工藝教學(xué)套件(工藝版)
作為一款強(qiáng)大的教學(xué)和實(shí)驗(yàn)工具,可以應(yīng)用于如下場(chǎng)景:
? 半導(dǎo)體工藝教學(xué)工具:用于仿真、圖形化顯示主要半導(dǎo)體單步工藝
? 半導(dǎo)體工藝教學(xué)輔助演示:用于直觀展示典型器件制造工藝流程
? 半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)教學(xué)工具:模擬半導(dǎo)體工藝設(shè)備的操作行為,可讓學(xué)生體驗(yàn)現(xiàn)代半導(dǎo)體工藝制造流程和關(guān)鍵參數(shù)設(shè)定。
產(chǎn)品特性
? 直觀全面及實(shí)踐性:能夠演示主要的半導(dǎo)體單步工藝的結(jié)構(gòu)剖面圖,直觀展示典型半導(dǎo)體器件的制造工藝流程,實(shí)驗(yàn)箱液晶顯示屏與參數(shù)設(shè)定按鍵配合使用,可實(shí)現(xiàn)真實(shí)半導(dǎo)體工藝設(shè)備的模擬操作,增強(qiáng)工藝教學(xué)的實(shí)踐性。
? 與時(shí)俱進(jìn)及可拓展性:產(chǎn)品包含當(dāng)前器件的制造工藝流程(如FinFET、GaN等),預(yù)留4個(gè)定制按鍵用于用戶特殊器件工藝的定制需求,半導(dǎo)體工藝模擬器可以根據(jù)行業(yè)工藝技術(shù)的發(fā)展進(jìn)行同步更新。
? 單步工藝模式
模擬半導(dǎo)體器件制造中的單步工藝,學(xué)習(xí)單步工藝如:清洗、氧化、離子注入、刻蝕等的基本原理及其在器件中的作用。
器件制造模式
集成了8種器件的制造工藝流程,交互式演示器件制造的多個(gè)工藝步驟過程,支持工藝步驟參數(shù)的輸入,工藝仿真輸出包括器件每一步工藝的結(jié)構(gòu)剖面圖、摻雜濃度等信息,用戶可以通過點(diǎn)選的方式學(xué)習(xí)器件的結(jié)構(gòu)組成、摻雜濃度分布和關(guān)鍵工藝參數(shù)等,如圖21所示
測(cè)試功能能夠給出工藝仿真步驟完成的器件的I-V特性曲線,可快速將器件工藝特性與真實(shí)的半導(dǎo)體器件特性關(guān)聯(lián)起來
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