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更新時間:2024-05-27 13:13:01瀏覽次數(shù):166次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)無油渦旋真空泵是一種新型干式真空泵,它是由渦旋式壓縮機(jī)演化而來的。工作過程中動、定渦旋盤無接觸,依靠相對運動形成容積不斷縮小的新月形壓縮腔,通過吸氣,壓縮,排氣的循環(huán),使氣體從抽氣口吸入,排氣口排出,實現(xiàn)對被抽腔體抽真空
· 簡介
無油渦旋真空泵是一種新型干式真空泵,它是由渦旋式壓縮機(jī)演化而來的。其特點:間隙小、泄露小,具有較高的壓縮比,在較寬的工作壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速;工作壓力范圍寬,由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的,因而驅(qū)動扭矩和功率變化小;動靜渦旋形成的工作腔由于是對稱的,因而泵的結(jié)構(gòu)簡單、零部件少,故工作平穩(wěn)、振動小、噪音低、工作可靠性高渦旋型線從等界面優(yōu)化為變截面,使抽除氣體的能力大大增強(qiáng),能在大氣壓下啟動,可直排大氣獨立工作;對被抽容器無污染。
· 工作原理
無油渦旋真空泵是由泵頭、電機(jī)、機(jī)座等構(gòu)成。泵頭含動、定渦旋盤,曲軸,密封件,風(fēng)扇和泵殼等。渦旋盤由圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開線螺旋盤組成,定渦旋盤和動渦盤的組成渦旋盤復(fù)構(gòu)成無油渦旋真空泵的基本抽氣結(jié)構(gòu)。工作過程中動、定渦旋盤無接觸,依靠相對運動形成容積不斷縮小的新月形壓縮腔,通過吸氣,壓縮,排氣的循環(huán),使氣體從抽氣口吸入,排氣口排出,實現(xiàn)對被抽腔體抽真空。
· 性能特點
·抽速:4m3/h到60m3/h;
·高真空:極限真空可達(dá)1Pa;
·全無油:不返油,不噴油;
·啟停:能在大氣壓和真空之間頻繁啟動和關(guān)閉;
·安靜:低噪音、低振動;
·小巧:體積小、重量輕
· 結(jié)構(gòu)
結(jié)構(gòu)緊湊,運輸方便,真空低。免維護(hù),無污染。
· 應(yīng)用
分析測試儀器,能譜儀,掃描電鏡真空鍍膜(PVD、CVD、LPD等)電子束焊接、激光焊接真空爐、單晶爐、烘箱,手套箱、排氣臺預(yù)處理室、樣品傳輸抽真空,He質(zhì)譜檢漏,稀有特殊氣體回收在循環(huán),空間環(huán)境模擬。
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