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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      成都漢普升科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      成都真空設(shè)備廠家 surpass電磁耦合磁控濺射
      
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      參   考   價(jià):
																								￥ 1000000
																					
      
													
      訂  貨  量: 																																				≥1 套
															
      
											                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號
      
							
      品       牌其他品牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
      
		                    							
      所  在  地成都市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：胡先生查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2023-11-23 15:24:42瀏覽次數(shù)：137次
							
      
							聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
						
      
				
				
      
					
					
      
						
      
                                                        
                                                    
      
						
      經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家
      
						
      商鋪產(chǎn)品：30條
      
						
      所在地區(qū)：四川成都市
      
						
      聯(lián)系人：胡先生 （銷售）
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      成都真空設(shè)備廠家 surpass電磁耦合磁控濺射 固體潤滑 防腐 超硬表面改性 可定制
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
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      ●該設(shè)備為公司根據(jù)客戶工藝需求定制，與某研究所國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合研制，先后獲得獎(jiǎng)勵(lì)3項(xiàng)，聯(lián)合申報(bào)國家2項(xiàng)，用于固體潤滑、防腐和超硬表面改性等領(lǐng)域，服務(wù)于科研和國家重大項(xiàng)目需求，具有多功能、高穩(wěn)定的特點(diǎn)，歡迎各位聯(lián)合研制。

      ●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成，同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據(jù)客戶使用需求定制。
      ●真空腔體：φ900X1050，雙層水冷；（可根據(jù)實(shí)際需求定制）
      ●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng)；
      ●真空抽速：4000-7000L/S，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì)，全金屬防爆真空規(guī)；
      ●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據(jù)客戶選擇主泵確定）；
      ●磁控靶組件：4個(gè)矩形靶，4個(gè)圓柱靶，根據(jù)客戶實(shí)際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源；
      ●離子源：2套線性離子源，匹配專用電源；
      ●氣路：4路反應(yīng)氣體，進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)，1路毛細(xì)保護(hù)氣路；
      ●烘烤溫度：400℃，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結(jié)構(gòu)；
      ●工件盤：導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套（標(biāo)準(zhǔn)配置為12工位和24工位，可擴(kuò)展數(shù)百件工件共同沉積），工件盤裝夾移動(dòng)小車一輛；
      ●控制系統(tǒng)：西門子PLC+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。

      ●特別說明：該設(shè)備為公司與中科院某所合作研制，獲得國家科技進(jìn)步、國家科技發(fā)明獎(jiǎng)、機(jī)械工業(yè)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和中科院重大設(shè)備專項(xiàng)等獎(jiǎng)勵(lì)，公司提供一攬子技術(shù)解決方案，同時(shí)與合作伙伴共享知識產(chǎn)權(quán)。

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