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首昂光電(上海)有限公司
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所 在 地上海市
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更新時(shí)間:2023-10-01 09:23:42瀏覽次數(shù):220次
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是專業(yè)化的晶圓激光刻號(hào)打碼專用設(shè)備,適用于2-12英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)作業(yè)
是專業(yè)化的晶圓激光刻號(hào)打碼專用設(shè)備,適用于2-12英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)作業(yè)。
支持OCR字符和點(diǎn)陣字符,適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)。
全自動(dòng)生產(chǎn)可加工2〞- 6〞、4〞- 8〞、8〞- 12〞晶圓;
工業(yè)級(jí)激光器、穩(wěn)定可靠、免維護(hù);
光束質(zhì)量好、標(biāo)識(shí)精細(xì)、可讀性好;
操作界面友好、使用方便。
技術(shù)規(guī)格 項(xiàng)目 單位 數(shù)值
加工尺寸 晶圓尺寸 inch 6英寸
激光器功率 激光器出口處 w 20瓦
激光器波長(zhǎng) 紅外光纖激光器 nm 1064納米
定位精度 mm 0.05毫米
重復(fù)精度 mm 0.02毫米
振鏡 掃描速度 mm/s 7000毫米/秒
振鏡類型 數(shù)字/模擬 高速數(shù)字式振鏡
負(fù)載 Kg 1.5千克
協(xié)作機(jī)械手 臂長(zhǎng) mm 400毫米
重復(fù)精度 mm 正負(fù)0.03毫米
Z向行程 mm 210微米
電源 AC 兩相220~240V 50HZ
耗電量 Kw 1.5千瓦
單獨(dú)接地電阻 Ω 小于4歐
共用接地電阻 Ω 小于1歐
壓縮空氣供給壓力 MPa 0.5~0.8兆帕
廠務(wù)真空供給 Kpa -0.6千帕
2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)。
適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻號(hào)、打碼。
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