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首昂光電(上海)有限公司
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更新時(shí)間:2023-10-01 09:22:19瀏覽次數(shù):167次
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1)控制系統(tǒng)由程序電腦主機(jī)構(gòu)成,故障率低,可靠性強(qiáng),操作簡單,易于維護(hù)
1)控制系統(tǒng)由程序電腦主機(jī)構(gòu)成,故障率低,可靠性強(qiáng),操作簡單,易于維護(hù)。
2)切割傳動(dòng)方式通過直線電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng),提高設(shè)備切割精度。
3)切割馬達(dá)采用高精度旋轉(zhuǎn)馬達(dá)。
4)切割采用切割頭方式切割。
5)切割Z軸在切割過程中可以自動(dòng)下移設(shè)定距離(可以在程序界面里單獨(dú)設(shè)定Z軸速度和位移)。
6)可以實(shí)現(xiàn)圓切割和好線切割。
7)可以兼容切割8inch(200mm直徑)/12inch(300mm直徑)硅片。
8)加工時(shí)有安全窗口觀察設(shè)備內(nèi)部的加工情況,安全窗口激光透過率需保證操作人員的安全。
加工片子尺寸 需要換切割載臺 8寸、12寸
切割深度 切穿
激光器功率 激光器出口出 W 50
工作臺承載方式 大理石
工作臺行程 mm 150
移動(dòng)量解析度 mm 0.001
X軸 單步步進(jìn)量 mm 0.001
定位精度 mm (單一誤差)0.004以內(nèi)/5
重復(fù)精度 mm 0.003
工作臺行程 mm 150
移動(dòng)量解析度 mm 0.001
Y軸 單步步進(jìn)量 mm 0.001
定位精度 mm (單一誤差)0.004以內(nèi)/5
重復(fù)精度 mm 0.003
該設(shè)備為硅片割圓設(shè)備,主要應(yīng)用于大尺寸硅片切割成小尺寸硅片。
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