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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      首昂光電(上海)有限公司


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      全自動(dòng)紫外激光劃片機(jī)

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      參  考  價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號(hào)

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地上海市

      聯(lián)系方式:李經(jīng)理查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2023-10-01 08:57:55瀏覽次數(shù):179次

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      經(jīng)營(yíng)模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:29條

      所在地區(qū):上海上海市

      聯(lián)系人:李經(jīng)理

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      該設(shè)備針對(duì)半導(dǎo)體開發(fā)一款專用設(shè)備,廣泛應(yīng)用在集成電路晶圓、GPP二極管晶圓、GPP可控硅、TVS晶圓的劃線切割,以及Wafer表面膠層開槽

      詳細(xì)介紹

      該設(shè)備針對(duì)半導(dǎo)體開發(fā)一款專用設(shè)備,廣泛應(yīng)用在集成電路晶圓、GPP二極管晶圓、GPP可控硅、TVS晶圓的劃線切割,以及Wafer表面膠層開槽。

      1)采用高精度直線平臺(tái),進(jìn)口高精度DD馬達(dá),保證切割精度;

      2)半導(dǎo)體專用機(jī)械手臂(雙臂)上下料,提高速度及穩(wěn)定性;

      3)自動(dòng)上下料、自動(dòng)對(duì)位、自動(dòng)調(diào)焦,通用于4-6寸晶圓;

      4)進(jìn)口激光器配備自主研發(fā)光路系統(tǒng)及控制程序,穩(wěn)定可靠,操控方便,易于維護(hù);


      技術(shù)規(guī)格

      加工片子尺寸                                   切割載臺(tái)                                                        4-6寸

      切割深度                                          不切穿

      激光器功率                                       激光器出口出                 W                              10

      工作臺(tái)承載方式                                                                                                    大理石

                                                              工作臺(tái)行程                    mm                          300

                                                              移動(dòng)量解析度                 mm                         0.001  

      X軸                                                  單步步進(jìn)量                     mm                         0.001

                                                              定位精度                        mm              (單一誤差)0.004以內(nèi)/5

                                                              重復(fù)精度                        mm                        0.003

                                                              工作臺(tái)行程                     mm                          250

                                                              移動(dòng)量解析度                  mm                        0.001    

      Y軸                                                   單步步進(jìn)量                     mm                        0.001

                                                               定位精度                        mm              (單一誤差)0.004以內(nèi)/5

                                                               復(fù)精度                            mm                       0.003


      廣泛應(yīng)用在集成電路晶圓、GPP二極管晶圓、GPP可控硅、TVS晶圓的劃線切割,以及Wafer表面膠層開槽。

      關(guān)鍵詞:可控硅 機(jī)械手

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