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更新時(shí)間:2023-10-01 08:57:55瀏覽次數(shù):179次
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該設(shè)備針對(duì)半導(dǎo)體開發(fā)一款專用設(shè)備,廣泛應(yīng)用在集成電路晶圓、GPP二極管晶圓、GPP可控硅、TVS晶圓的劃線切割,以及Wafer表面膠層開槽
該設(shè)備針對(duì)半導(dǎo)體開發(fā)一款專用設(shè)備,廣泛應(yīng)用在集成電路晶圓、GPP二極管晶圓、GPP可控硅、TVS晶圓的劃線切割,以及Wafer表面膠層開槽。
1)采用高精度直線平臺(tái),進(jìn)口高精度DD馬達(dá),保證切割精度;
2)半導(dǎo)體專用機(jī)械手臂(雙臂)上下料,提高速度及穩(wěn)定性;
3)自動(dòng)上下料、自動(dòng)對(duì)位、自動(dòng)調(diào)焦,通用于4-6寸晶圓;
4)進(jìn)口激光器配備自主研發(fā)光路系統(tǒng)及控制程序,穩(wěn)定可靠,操控方便,易于維護(hù);
技術(shù)規(guī)格
加工片子尺寸 切割載臺(tái) 4-6寸
切割深度 不切穿
激光器功率 激光器出口出 W 10
工作臺(tái)承載方式 大理石
工作臺(tái)行程 mm 300
移動(dòng)量解析度 mm 0.001
X軸 單步步進(jìn)量 mm 0.001
定位精度 mm (單一誤差)0.004以內(nèi)/5
重復(fù)精度 mm 0.003
工作臺(tái)行程 mm 250
移動(dòng)量解析度 mm 0.001
Y軸 單步步進(jìn)量 mm 0.001
定位精度 mm (單一誤差)0.004以內(nèi)/5
復(fù)精度 mm 0.003
廣泛應(yīng)用在集成電路晶圓、GPP二極管晶圓、GPP可控硅、TVS晶圓的劃線切割,以及Wafer表面膠層開槽。
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