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上海德竹芯源科技有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)SM-200
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時(shí)間:2024-05-15 09:29:31瀏覽次數(shù):110次
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半自動(dòng)勻膠機(jī) SM-200 可處理沒(méi)有或表面結(jié)構(gòu)非常低的襯底。SM系列,擁有高水平的均勻性和重復(fù)性。所有商業(yè)光阻劑都可被均勻涂布。針對(duì)多種多樣的應(yīng)用設(shè)計(jì)的專(zhuān)用卡盤(pán),有助于提高在基材選擇方面的高度靈活性和可使用性。
產(chǎn)品功能
● 閉合工藝室由 PETP 材質(zhì)做成(碗和防濺環(huán))
● RCCT 系統(tǒng)(旋轉(zhuǎn)閉合腔體技術(shù) Round-Closed-Chamber-Technology)
● 高動(dòng)態(tài)、直接驅(qū)動(dòng)交流伺服電機(jī)
● 旋轉(zhuǎn)速度 6000 rpm +/-1 rpm(可選 10000)
● 可編程電驅(qū)動(dòng)分配手臂,可靜態(tài)或動(dòng)態(tài)滴膠
● 襯底通過(guò)真空固定和安全互鎖保護(hù)
● 一個(gè)滴膠臂,可放置 4 路液體管路
● 液體由玻璃瓶和精密計(jì)量泵來(lái)供應(yīng),包括低液體傳感報(bào)警
● PP材質(zhì)的廢液桶,帶有高液位傳感器
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