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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      上海德竹芯源科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：上海德竹芯源科技有限公司>>半導(dǎo)體工藝設(shè)備>>R-200 Advance 原子層沉積系統(tǒng)
            
      
			
      
				
      
					
      R-200 Advance 原子層沉積系統(tǒng)
      
					返回列表頁
				
      
				
				
      
					
					

				
      
		            
			
      
				
      
					
											
      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號R-200 Advance
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地上海
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2024-05-15 09:18:17瀏覽次數(shù)：47次
							
      
							聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      Picosun R-200 系列原子層沉積系統(tǒng)是一款多功能的原子層沉積平臺，是用于研發(fā)的理想選擇，適用于 IC 器件、MEMS 器件、顯示器、LED、激光器以及透鏡、光學(xué)部件、珠寶、硬幣、醫(yī)療植入物等 3D 部件的研發(fā)。
      
				
      
				
      
                    詳細介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                   
                               
                                   
           ● 適用 2 - 8 inch 晶圓，156mm × 156mm 太陽能硅片
           ● 可適用于多孔，通孔，高深寬比樣品（可達 1 : 2500）
           ● 工藝溫度：50 - 500℃
           ● Advance 型號配有等離子處理系統(tǒng)，工藝溫度 450℃（可選配特定chuck盤至 650℃）
           ● 適用鍍膜種類：Al2O3，TiO2，SiO2，Ta2O5，HfO2，ZnO，ZrO2，AlN，TiN，Pt，Ir 等
           ● 手動上料，可選配機械臂，搬運機器人或 Cassette-to-Cassette 上料
                  
           ● 前驅(qū)體種類：液體、固體、氣體、臭氧源、等離子體等
                               
                             
                             
                               
                                                            
                             
                             
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：搬運機器人
      
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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