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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      上海德竹芯源科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：上海德竹芯源科技有限公司>>半導(dǎo)體工藝設(shè)備>>R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng)
            
      
			
      
				
      
					
      R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng)
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號R-200 Standard
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地上海
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2024-05-15 09:17:10瀏覽次數(shù)：57次
							
      
							聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      PICOSUN® R-200 標(biāo)準(zhǔn) ALD 系統(tǒng)適用于數(shù)十種應(yīng)用的研發(fā)，例如 IC 組件、MEMS 設(shè)備、顯示器、LED、激光器和 3D 對象，例如透鏡、光學(xué)器件、珠寶、硬幣和醫(yī)療植入物。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                   
                               
                                   
      標(biāo)準(zhǔn)基板尺寸與類型
           ● 50 mm - 200 mm 單晶片
           ● 156 mm × 156 mm 太陽能硅晶片
           ● 3D 對象
           ● 粉末和顆粒
           ● 小批量
           ● 多孔、通孔和高縱橫比（高達(dá) 1：2500）

      工藝溫度
           ● 50℃ - 500℃

      標(biāo)準(zhǔn)工藝
           ● Al2O3、TiO2、SiO2、Ta2O5、HfO2、ZnO、ZrO2、TiN、AlN、Pt 或 Ir 等金屬

      基板裝載
           ● 使用氣動(dòng)升降機(jī)手動(dòng)裝載
           ● 帶磁性機(jī)械臂的負(fù)載鎖

      前驅(qū)體
           ● 液體、固體、氣體、臭氧
           ● 多達(dá) 6 個(gè)源、帶 4 個(gè)獨(dú)立入口

      其他選項(xiàng)
           ● Picoflow™ 擴(kuò)散增強(qiáng)劑、RGA、N2 發(fā)生器、氣體洗滌器、定制設(shè)計(jì)、惰性裝載手套箱兼容性
                               
                             
                             
                               
                                                            
                             
                             
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：發(fā)生器
      
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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