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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      上海德竹芯源科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      P-300B 原子層沉積系統(tǒng)
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)P-300B
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地上海
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2024-05-15 09:17:01瀏覽次數(shù)：36次
							
      
							聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      PICOSUN™ P-300 系統(tǒng)擁有的熱壁、獨(dú)立的前驅(qū)體管路和特殊的載氣設(shè)計(jì)，確保可以生產(chǎn)出具有優(yōu)異的成品率、低顆粒水平和的電學(xué)和光學(xué)性能的高質(zhì)量 ALD 薄膜。高效緊湊的設(shè)計(jì)使得維護(hù)更加方便、快捷，大限度減少系統(tǒng)的維護(hù)停工期和使用成本。擁有技術(shù)的 Picoflow™ 使得在超高深寬比結(jié)構(gòu)上沉積保形性薄膜更高效，并已在生產(chǎn)線上得到驗(yàn)證。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                   
                               
                                   
      襯底尺寸和類型
           ● 200mm 晶圓 25片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距） 
           ● 150mm 晶圓 50片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距） 
           ● 100mm 晶圓 75片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距） 
           ● 非標(biāo)準(zhǔn)晶圓類基底（使用定制夾具） 
           ● 高深寬比基底（深寬比 1 : 2500）

      工藝溫度
            ● 50°C – 500°C

      標(biāo)準(zhǔn)工藝
           ● 批量生產(chǎn)的平均工藝時(shí)間小于 10 秒/循環(huán)* 
           ● Al2O3，SiO2，Ta2O5，HfO2，ZnO，TiO2，ZrO2，AlN，TiN 及各種金屬
            
           ● 同一批次薄膜不均勻性 < 1% 1σ，(Al2O3，WIW，WTW，B2B，49pts，5mm EE)**

      基片加載
           ● 氣動(dòng)升降
           ● 手動(dòng)裝載
           ● 線性半自動(dòng)裝載

      前驅(qū)體
           ● 液態(tài)，固態(tài)，氣態(tài)，臭氧源
           ● 源瓶余量傳感器，提供清洗和裝源服務(wù)
           ● 4 根獨(dú)立的源管線，最多加載 8 個(gè)前驅(qū)體源
                               
                             
                             
                               
                                                            
                             
                             
			        
      
			    
      
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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		以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，智能制造網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
		溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
        
	
      
    
        








      
	
      
		
      
			
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      請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
      
                    
      
				
      
				
      
		
      
	
      

      

    
      
        
      
            
            
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