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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      上海德竹芯源科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      VF-1000 手動研發(fā)立式爐管
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號VF-1000
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地上海
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2024-05-15 09:15:59瀏覽次數(shù)：49次
							
      
							聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      這款用于實驗和研發(fā)的小規(guī)模生產(chǎn)立式爐管實現(xiàn)了高質(zhì)量的處理。該立式爐管很緊湊，只需要很小的安裝面積，但可用于各種直徑的晶圓，具有與量產(chǎn)爐相同的溫度特性。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                   
                               
                                   
      概述
      這款用于實驗、研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)的立式爐管可用于從 2 英寸到 8 英寸以及 300 毫米的各種晶圓尺寸，小批量爐管的尺寸也可從多達(dá) 25 片一體式中進(jìn)行選擇。由于加熱器可以從 LGO 加熱器和各種其他加熱器中進(jìn)行選擇，因此工藝開發(fā)具有與量產(chǎn)爐管相同的爐口結(jié)構(gòu)和加熱器性能。該立式爐管可用于硅晶片處理（LPCVD、氧化和擴(kuò)散）、針對功率器件（Si 和 SiC）開發(fā)的硅柵氧氮化和活化退火，以及其他工藝。

      特性
      ● 用于研發(fā)的高性能處理
      ● 小批量，最多 25 片一體式進(jìn)行批量加工
      ● 提供 2 至 8 英寸和 300 毫米晶圓尺寸
      ● 配備 LGO 加熱器，實現(xiàn)與量產(chǎn)設(shè)備相同的高溫性能
      ● 配備功能有限的簡單控制系統(tǒng)

      規(guī)格
      外部尺寸：W1500 × D1000 × H2130 mm
      加熱器：LGO加熱器
      均熱區(qū)長度：至 250 mm
      晶圓大小：至 8 英寸
      可放置晶圓數(shù)量： ≥ 25 片/批次（不含陪片）
      選配：
      強(qiáng)制冷卻系統(tǒng)
      N2 置換室
      50 至 150 片一體式的加工
      300mm 晶圓處理
                               
                             
                             
                               
                                   
      規(guī)格
      外部尺寸：W1500 × D1000 × H2130 mm
      加熱器：LGO加熱器
      均熱區(qū)長度：至 250mm
      晶圓大小：至 8 英寸
      可放置晶圓數(shù)量： ≥ 25 片/批次（不含陪片）
      選配：
      強(qiáng)制冷卻系統(tǒng)
      N2 置換室
      50 至 150 片一體式的加工
      300mm 晶圓處理
                               
                             
                             
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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