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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      上海德竹芯源科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當前位置：上海德竹芯源科技有限公司>>半導(dǎo)體工藝設(shè)備>>ASTRO PACT-10H 等離子去膠機
            
      
			
      
				
      
					
      ASTRO PACT-10H 等離子去膠機
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號ASTRO PACT-10H
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地上海
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2024-05-15 09:11:25瀏覽次數(shù)：65次
							
      
							聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      主要應(yīng)用晶圓顯影后的底膠去除或者干法蝕刻工藝后變性的光刻膠去除，光刻膠的去除及對樣片是否有損傷，將影響到后續(xù)工藝和器件的性能。
      
				
      
				
      
                    詳細介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                   
                               
                                   
           ● 應(yīng)用領(lǐng)域：高劑量離子注入光刻膠的去除，濕法或干法刻蝕前后殘膠去除，MEMS 中犧牲層的去除，去除化學(xué)殘余物，去浮渣工藝，SU-8 光刻膠去除等
           ● 優(yōu)勢：去膠速度快，對產(chǎn)品損傷小，設(shè)計緊湊，操作簡單
           ● 工藝腔室：鋁材質(zhì)，尺寸 350(W)×350(D)×170(H)mm
           ● 樣品尺寸：12 寸，向下兼容
           ● 腔門：抽屜式帶加熱臺盤 60 - 200℃（選配 250℃ 加熱臺盤），帶觀察窗
           ● 微波源：2.45GHz， 1200W
           ● 氣路：標配兩路工藝氣體，帶質(zhì)量流量計（可升級至 4 路）
           ● 真空規(guī)：Pirani，PCR280 Standard
           ● 真空泵：干泵或油泵可選
           ● 控制系統(tǒng)：10.4 寸觸摸屏，Windows系統(tǒng)，圖形化操作界面
           ● 電力需求：3 / N / PE AC 50Hz 400 / 240V 16A
                            
           ● 整機尺寸：560(W)×770(D)×770(H)mm
                               
                             
                             
                               
                                                            
                             
                             
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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