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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      上海德竹芯源科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：上海德竹芯源科技有限公司>>半導(dǎo)體檢測設(shè)備>>X'Pert3 MRD 高分辨X射線衍射儀
            
      
			
      
				
      
					
      X'Pert3 MRD 高分辨X射線衍射儀
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號XPert3 MRD
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地上海
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2024-05-15 09:03:51瀏覽次數(shù)：107次
							
      
							聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      高分辨率X射線衍射儀，主要用途為測量 Si, Ge, SiC, GaN, InGaN, AlGaN, GaAs, InP, AlN, GaSb 等化合半導(dǎo)體材料的單晶和外延層材料的結(jié)晶完整性，外延層及相應(yīng)半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的組分、厚度、弛豫度等參數(shù)的測定，外延結(jié)構(gòu)的晶格失配及應(yīng)變狀態(tài)分析，X-Y map均勻性分析，雙軸晶和三軸晶X射線衍射，對稱和非對稱掃描，Out-of-plane 和 In-plan......
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                   
                               
                                   
      設(shè)備功能
           ● 倒易空間掃描(RSM) – 一分鐘完成自動掃描及自動分析
           ● 高分辨衍射(HRXRD) – W/2T，2T/W，2T……掃描
           ● 搖擺曲線(Rocking Curve) – W 掃描
           ● 反射率(XRR) – 材料密度，厚度，粗糙度(Option)
           ● 晶格參數(shù)(Lattice parameter)，晶向(Orientation)及晶面鑒定(Reflection plane)
           ● 切角(Off-Cut)及平辺方向(Flat)鑒定
           ● 晶體缺陷鑒定(Defect)
           ● 曲率半徑鑒定(Curvature)
           ● 應(yīng)力(Strain)及弛裕度(relaxation)鑒定
           ● 晶格失配率鑒定(Mismatch)
                            
           ● 成份分析，厚度分析
                               
                             
                             
                               
                                                            
                             
                             
			        
      
			    
      
                                                				
      
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