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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      上海德竹芯源科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      2830 ZT 晶圓分析儀
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)2830 ZT
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地上海
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
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								更新時(shí)間：2024-05-15 09:03:34瀏覽次數(shù)：89次
							
      
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                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      2830 ZT 波長(zhǎng)色散 X 射線熒光 (WDXRF) 晶圓分析儀提供了用于測(cè)量薄膜厚度和成分的功能。 2830 ZT 晶圓分析儀專(zhuān)門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)而設(shè)計(jì)，該儀器可為多種晶片（厚達(dá) 300 mm）測(cè)定層結(jié)構(gòu)、厚度、摻雜度和表面均勻性。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                   
                               
                                   
      持續(xù)的性能和速度
           ● 4 kW SST-mAX X射線管配備了 ZETA 技術(shù)，可消除X射線管老化效應(yīng)。 這種性能可在X射線管整個(gè)壽命期間得到保持，同時(shí)高靈敏度與 ZETA 技術(shù)相結(jié)合，確保了在X射線管壽命期間可一直提供快速的分析和簡(jiǎn)短的測(cè)量時(shí)間。ZETA 技術(shù)減少了對(duì)于漂移校正和重新校準(zhǔn)的需求，從而提高了儀器的生產(chǎn)率和正常運(yùn)行時(shí)間。

      正常運(yùn)行時(shí)間大大提升
           ● 傳統(tǒng)X射線管會(huì)出現(xiàn)鎢燈絲揮發(fā)，從而導(dǎo)致光管鈹窗內(nèi)部出現(xiàn)沉淀物污染鈹窗。 使用此類(lèi)X射線管的儀器需要定期進(jìn)行漂移校正以補(bǔ)償下降的強(qiáng)度，尤其是對(duì)于輕元素而言。
           ● 2830 ZT 采用 SST-mAX 射線管解決了這一漂移問(wèn)題，從而大大提升了正常運(yùn)行時(shí)間并能隨著時(shí)間的推移維持儀器精度。

      易于使用
           ● 2830 ZT 配置 SuperQ 軟件，該軟件包含了 FP Multi —— 一個(gè)專(zhuān)門(mén)針對(duì)多層分析開(kāi)發(fā)的專(zhuān)用軟件包。 該軟件的用戶界面確保即使是沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的操作員也能對(duì)多層進(jìn)行全自動(dòng)的基本參數(shù)分析。
           ● 該儀器的 SuperQ 軟件具有多種易于使用的模塊，這些模塊能方便研究者和工程師進(jìn)行靈活操作?？梢暂p松切換配方和調(diào)整設(shè)備參數(shù)以適應(yīng)用戶偏好。

      FALMO-2G
           ● FALMO-2G 可輕松集成到任意實(shí)驗(yàn)室或晶片廠中：從簡(jiǎn)單的人工托架裝載到全自動(dòng)。 靈活的設(shè)計(jì)讓晶片廠經(jīng)理能選擇 FOUP、SMIF 或開(kāi)放式裝入端口，配有一個(gè)或兩個(gè)裝入端口配置。各種配置的 FALMO-2G 均受到符合GEM300 的軟件支持。FALMO-2G 的占地空間大大降低，而沒(méi)有損失靈活性、功能。 
                               
                             
                             
                               
                                   
      樣品處理
           ● 直接進(jìn)樣 100 - 300 毫米的晶片；較小的尺寸可通過(guò)特殊適配器處理
           ● FOUP、SMIF、開(kāi)放式載盤(pán)和手動(dòng)進(jìn)樣選項(xiàng)可用
           ● 高達(dá)每小時(shí) 25 塊晶片的樣品處理能力

      X射線管
           ● SST-mAX75，超尖銳端窗射線管，SST-mAX50 為選配
           ● 測(cè)量點(diǎn)尺寸 40 和 10mm；可測(cè)量其他點(diǎn)尺寸
           ● ZETA 技術(shù)

      通道
           ● 最多 24 個(gè)固定通道
           ● 值 (M)  2 個(gè)測(cè)角儀
           ● 高性能硼通道，以獲得高靈敏度和處理量
           ● 適用于 B、C、N、O、F、Mg、Wsix、TiSix、CoSix 的專(zhuān)用高性能通道，具有高靈敏度和高處理量
           ● 氬氣 / 甲烷混合氣體
           ● 流氣探測(cè)器
           ● 封閉式計(jì)數(shù)器
           ● 掃描儀 10° - 100° 2θ
           ● 帶有 300 µm 鈹窗的閃爍式探測(cè)器

      安裝
           ● 符合 SEMI S2 / S8
           ● 符合 SECS / GEM
                               
                             
                             
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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