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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      上海德竹芯源科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：上海德竹芯源科技有限公司>>半導(dǎo)體檢測設(shè)備>>ADEPT 1010 動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀
            
      
			
      
				
      
					
      ADEPT 1010 動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號ADEPT 1010
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地上海
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2024-05-15 09:01:46瀏覽次數(shù)：104次
							
      
							聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀（D-SIMS）是使用一次離子束（通常是Cs源）轟擊樣品表面，而產(chǎn)生二次離子，然后用質(zhì)譜分析儀分析二次離子的質(zhì)荷比（m/q），從而得知元素在樣品中的深度分布，是分析半導(dǎo)體摻雜和離子注入的有力的工具。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                   
                               
                                   
      優(yōu)勢
           ● ULVAC-PHI 新設(shè)計的四極桿-二次離子質(zhì)譜儀 ADEPT 1010，在原有的 PHI 6300 和 PHI 6600 的基礎(chǔ)上，改善了離子光學(xué)系統(tǒng)，是在一次離子能量低至 250eV 時，仍保持有效的濺射束流的動態(tài)二次離子質(zhì)譜系統(tǒng)（D-SIMS）。

      特點
           ● 大束流低能量離子槍設(shè)計，提高了深度分辨率
           ● 高性能離子光學(xué)系統(tǒng)，改善了二次離子傳輸效率，在提高分析效率的同時又提高了檢測靈敏度
           ● 高精度全自動 5 軸樣品操控臺
           ● 不同方向進入檢測器的二次離子，均可被高靈敏地收集檢測
       
      應(yīng)用實例分析
           ● 采用一次離子源 Cs 在加速 5kV 束流為 100nA 的條件下，分析 GaAs 中注入的 H，C，O 元素。可以看到 H 檢測限值 7.1 × 1016 atm/cm3，O 檢測限值 4.4 × 1015 atm/cm3，C 檢測限值 2.0 × 1015 atm/cm3。

                               
                             
                             
                               
                                                            
                             
                             
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：質(zhì)譜儀
      
                                                				
      
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