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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      上海德竹芯源科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：上海德竹芯源科技有限公司>>半導(dǎo)體封裝設(shè)備>>Triton160 等離子清洗機(jī)
            
      
			
      
				
      
					
      Triton160 等離子清洗機(jī)
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號Triton160
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地上海
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2024-05-15 08:56:01瀏覽次數(shù)：163次
							
      
							聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      該設(shè)備主要應(yīng)用于金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗，塑封(Molding)前的等離子清洗，底部填充(Underfill)前的等離子清洗，光刻膠的去除(Descum)等。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                   
                               
                                   
      應(yīng)用領(lǐng)域
      金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗
           ● 通過等離子表面處理可以去除焊盤表面的外來污染物與金屬氧化物，提供一個清潔的焊接面，提升后續(xù)金屬鍵合工藝的良率及鍵合強(qiáng)力。

      塑封(Molding)前的等離子清洗
           ● 等離子清洗、活化工藝可去除器件表面各種納米級的污染物殘留，并提升表面能，保證塑封料與基底材料的緊密結(jié)合，減少分層等不良的產(chǎn)生。

      底部填充(Underfill)前的等離子清洗
           ● 通過等離子表面處理可以去除焊盤表面的外來污染物與金屬氧化物，提供一個清潔的焊接面，提升后續(xù)金屬鍵合工藝的良率及鍵合強(qiáng)力。

      光刻膠的去除(Descum)
           ● 在微電子行業(yè)中，使用等離子去除光刻膠是一種常用的工藝，通過等離子處理可去除顯影后孔底的殘膠，并對孔的側(cè)壁形貌就行修飾，提升后續(xù)工藝良率。此外，濕法去膠后，用等離子去除表面殘留的納米級光刻膠殘留也可有效提升后續(xù)工藝良率。

      設(shè)備特點(diǎn)
           ● 13.56MHz 射頻電源與自動匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復(fù)性
           ● 靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案，確保大批量處理的均勻性
           ● 精準(zhǔn)安全的反應(yīng)源供應(yīng)系統(tǒng)，可滿足多種工藝需求
           ● PLC與工控機(jī)提供穩(wěn)定的過程控制，設(shè)備運(yùn)行的實(shí)時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)
           ● 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠，易于保養(yǎng)與維護(hù)

      標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格
           ● 設(shè)備尺寸：700W × 1200D × 1810H mm -- 2215H mm 帶信號燈高度
           ● 腔體尺寸：518W × 648D × 518H mm，173L
           ● 腔體支持電極數(shù)量：8，電極間距：57mm
           ● 功率電極尺寸：405W × 450D mm，接地電極尺寸：477W × 450D mm
           ● 射頻功率及頻率：1250W / 13.56MHz
           ● 氣路配置：標(biāo)配兩路 / 最多可擴(kuò)充至 5 路氣體
           ● 真空泵標(biāo)準(zhǔn)配置：65m3/h油泵 / 80m3/h干泵（可選）
                               
                             
                             
                               
                                   

                               
                             
                             
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：工控機(jī)  過程控制
      
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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