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上海德竹芯源科技有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號UTA-1A(3A)-53M
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時間:2024-05-15 08:54:57瀏覽次數(shù):145次
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顯微鏡 LED 曝光單元 UTA 系列是用于光刻的無掩模圖案投影曝光設(shè)備。
顯微鏡 LED 曝光單元 UTA 系列是用于光刻的無掩模圖案投影曝光設(shè)備。
使用金屬顯微鏡和 LED 光源 DLP 投影儀,將分辨率為幾 μm 的任意圖案投影到涂有光刻膠的基板上進(jìn)行曝光。您可以在計(jì)算機(jī)上自由創(chuàng)建圖案。
另外,可以保存創(chuàng)建的圖案。
與電子束光刻相比,它更便宜、更容易,因?yàn)榭梢栽诳諝庵性诟鞣N大小和形狀的分層材料單晶薄片上形成電極。不需要制造昂貴的電極圖案掩模。
用途
● 薄膜 FET 的電極形成和空穴效應(yīng)測量樣品
● 從原石的石墨烯鉬中取出剝離的(?。┢?,用于評估石特性的電極形成
● 用于研發(fā)應(yīng)用的圖案形成
特征
● 因?yàn)樗秋@微鏡和 DLP 的組合相比現(xiàn)有系統(tǒng)更便宜的一種曝光設(shè)備
● 易于使用的專用軟件,可讓您輕松創(chuàng)建圖案
● 通過物鏡倍率,可以從精細(xì)圖案到進(jìn)行大范圍的批量曝光
● 可以安裝到您自己的顯微鏡上(取決于顯微鏡的規(guī)格)
● 分辨率為幾微米的圖案成型也是可能的
● 曝光范圍:物鏡 5X:約 1.16×0.72mm / 物鏡 100X:約 60×35μm ※曝光范圍僅供參考
☆曝光前可以進(jìn)行測試投影(因?yàn)槭羌t光,不會感光)
☆用白光曝光(曝光時間可以設(shè)置)
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