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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      蘇州倍爾齊科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：蘇州倍爾齊科技有限公司>>LTCC,HTCC,MLCC設(shè)備>>日本Nikkiso日機裝HTCC靜電卡盤疊層機
            
      
			
      
				
      
					
      日本Nikkiso日機裝HTCC靜電卡盤疊層機
      
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      參   考   價:
																								￥ 1890
																					
      
													
      訂  貨  量: 																																				≥1 臺
															
      
											                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號NST-400-LAU
      
							
      品       牌其他品牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
      
		                    							
      所  在  地蘇州市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：寧洪查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2023-10-28 11:46:28瀏覽次數(shù)：478次
							
      
							聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
						
      
				
				
      
					
					
      
						
      
                                                        
                                                    
      
						
      經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家
      
						
      商鋪產(chǎn)品：4條
      
						
      所在地區(qū)：江蘇蘇州市
      
						
      聯(lián)系人：寧洪 （銷售總監(jiān)）
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                                
      
                                                            用途
                                LTCC HTCC
                                                                                                                尺寸
                                450*450mm
                                                        
      
                                                                                                            
      
                                                            對位
                                自動CCD對位
                                                                                                         
                             
                            
      
                                              
      
					
      日本Nikkiso日機裝全自動疊層機NST-400-LAU是高速高精度板自動堆疊設(shè)備，是由上片、撕背膜、反轉(zhuǎn)、對位、疊片、點膠、加壓、下片等單元組成，是實現(xiàn)多層生料帶精確疊層的有效手段。
      
				
      
				
      
                    詳細介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
      日本Nikkiso日機裝全自動疊層機NST-400-LAU
      日本日機裝HTCC靜電卡盤疊層機NST-400-LAU
      日本Nikkiso日機裝全自動疊層機NST-400-LAU是高速高精度板自動堆疊設(shè)備，是由上片、撕背膜、反轉(zhuǎn)、對位、疊片、點膠、加壓、下片等單元組成，是實現(xiàn)多層生料帶精確疊層的有效手段。它通過自動定位、疊片、點膠、壓合等方法實現(xiàn)生料帶高精度疊層等功能，主要用于生料帶疊層。
      日本Nikkiso日機裝HTCC靜電卡盤疊層機NST-400-LAU應(yīng)用領(lǐng)域：LTCC低溫共燒陶瓷，HTCC高溫共燒陶瓷，LTCC探針卡，HTCC靜電吸盤等多層陶瓷行業(yè)。材料對位疊加工序不與反向和焊接工序同時進行，有效保持定位后的正確位置精度。對位治具下方安裝有CCD視覺檢測系統(tǒng)來確認(rèn)定位標(biāo)識（材料加工孔等），保證了對位的精度和疊片的準(zhǔn)確性。
      靜電卡盤（Electrostatic Chuck，簡稱E-Chuck），其原理是利用靜電吸附原理將待加工晶圓吸附在其表面，使晶圓保持較好的平坦度，可以抑制晶圓在工藝中的變形，并且可以通過背吹氣體來控制晶圓表面溫度。
      相較于機械卡盤，靜電吸盤減少了機械運動部件，降低了顆粒污染，增大晶片的有效面積。與真空吸盤相比，靜電吸盤可用于低壓強（真空）環(huán)境，適用于需要利用卡盤控制晶片溫度的場合。
      憑借這些特性，靜電卡盤被廣泛用于PVD、刻蝕機、離子注入機等設(shè)備，其在半導(dǎo)體制造工藝的多個環(huán)節(jié)扮演著重要作用。
      現(xiàn)代半導(dǎo)體工藝中包含晶圓的清洗、氧化、光刻、刻蝕、沉積等環(huán)節(jié)，每個環(huán)節(jié)中又涉及到多種工序，這其中離子摻雜、離子注入、物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）等工序均需要保證晶圓的平穩(wěn)固定，因此都需要靜電卡盤來進行夾持。
      在半導(dǎo)體制造工藝中，晶圓的平整度與潔凈度對整個半導(dǎo)體制造的精度與良率至關(guān)重要，相較于傳統(tǒng)的機械卡盤與真空卡盤，靜電卡盤因吸附力均勻、污染小、可作用于真空環(huán)境等優(yōu)勢也就成了。
      特點
      LTCC或HTCC單張型疊層機
      疊層精度：8英寸以內(nèi)是正負10um
      對應(yīng)產(chǎn)品尺寸：150㎜, 203㎜，300mm，400mm
      疊層方法：對位后，使用油壓機加壓疊層
      節(jié)拍：20秒內(nèi)（按壓時間5秒時）
       

      
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：CCD  視覺檢測系統(tǒng)
      
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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