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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      杭州大華儀器制造有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      DHRP-1 電感耦合射頻等離子體裝置
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地杭州市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
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								更新時(shí)間：2024-04-26 19:59:39瀏覽次數(shù)：132次
							
      
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                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      裝置將13.560MHz射頻源加至反應(yīng)室外的電感線圈,用電感耦合方式激勵(lì)氣體,使其放電產(chǎn)生等離子體.這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點(diǎn),并可以獲得純凈的等離子體.裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域科學(xué)研究之用
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                                                 
      裝置將 13.560MHz 射頻源加至反應(yīng)室外的電感線圈 , 用電感耦合方式激勵(lì)氣體 , 使其放電產(chǎn)生等離子體 . 這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點(diǎn) , 并可以獲得純凈的等離子體 . 裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域科學(xué)研究之用。
      實(shí)驗(yàn)內(nèi)容
      1、等離子體消毒滅菌實(shí)驗(yàn) , 如大腸桿菌 (8099)、 (ATCC6538)；
      2、等離子體材料表面改性實(shí)驗(yàn) , 如紙張親水性、紙張接觸角；
      3、等離子體材料表面清洗實(shí)驗(yàn)；
      4、等離子體聚合實(shí)驗(yàn)。
      主要技術(shù)參數(shù)
      1、等離子體腔體體積：φ140mm×（H）155mm；
      2、射頻功率： 0 ～ 500W；頻率：13.560MH Z ；
      3、工作氣壓： 20 ～ 200Pa（建議工作在 100 Pa 以下）；
      4、反應(yīng)腔本底真空： ≤ 5Pa；
      5、反應(yīng)腔極限真空： 1×10 -1 Pa；
      6、等離子體電子溫度： 1 ～ 8Ev；
      7、流量控制器： 0 ～ 1000sccm；
      8、工作電壓： AC220V±5% 50Hz；
      9、整機(jī)功率： ≤ 1.5KW；
      10、整機(jī)重量： 約 100Kg；
      11、外形尺寸： 長(zhǎng) 650× 寬 610× 高 1000mm。

                                                       
			        
      
			    
      
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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