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杭州大華儀器制造有限公司

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Table PVD-15 金屬和有機(jī)物熱蒸發(fā)系統(tǒng)

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更新時間：2024-04-26 19:58:13瀏覽次數(shù)：183次

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產(chǎn)品簡介

應(yīng)用領(lǐng)域：TablePVD-15一款小型電阻蒸發(fā)鍍膜儀，主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、鈣鈦礦太陽能電池、鋰電池、有機(jī)膜等，也可用作教學(xué)及生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等

詳細(xì)介紹

應(yīng)用領(lǐng)域：

Table PVD-15 一款小型電阻蒸發(fā)鍍膜儀，主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、鈣鈦礦太陽能電池、鋰電池、有機(jī)膜等，也可用作教學(xué)及生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等。

可鍍制低熔點(diǎn)金屬及合金材料薄膜，單層 / 多層 / 復(fù)合膜，（ Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Cr,Ni 等）；鍍制非金屬 / 化合物等材料薄膜（ Mo03, LiF）等；有機(jī)材料等蒸發(fā)；太陽能電池、LED 的研究和實(shí)驗(yàn)；描電鏡制樣等。

Table PVD-15 有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜儀.jpg

基本配置：

◆真空腔室：Φ250mm(ID) x 300mm(H)

◆真空系統(tǒng)：機(jī)械泵 + 分子泵兩級真空系統(tǒng) 前級泵：VRD-16 機(jī)械泵，抽速：4L/S 主抽泵：分子泵，抽氣速率：300L/S 主抽閥：CCQ-100 超高真空氣動插板閥，

◆極限真空：<5×10-5Pa

◆恢復(fù)真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min)

◆真空測量：“兩低一高" 數(shù)顯復(fù)合真空計

◆蒸發(fā) 源：2 組金屬蒸發(fā)源；（標(biāo)配）最多 2 個有機(jī)束源爐源；（選配）

◆蒸發(fā)電源：采用恒壓、恒流真空鍍膜電源，功率 2.4KW，電流調(diào)節(jié)精度：0.01A

◆樣品臺：可容納樣品尺寸：3 英寸樣品托一個 , 配擋板，轉(zhuǎn)速 0-30rpm 連續(xù)可調(diào) ; 樣品可加熱控溫，溫度范圍：室溫 -300℃，控溫精度 ±0.5℃；

◆系統(tǒng)控制：10 英寸觸摸屏 +PLC 控制（可選手動按鈕控制）

◆工作氣體 : 干燥壓縮空氣、氮?dú)?/span>

◆電源 : 單相 220V , 50Hz, 16A

◆冷凍水 :18-25℃ , 1L/min，壓力 < 0.4MPa

選擇配置：

◆樣品臺可水冷，采用直接式水冷形式，水冷不控溫

◆全量程真空計（ Inficon）

◆速率 / 膜厚監(jiān)控測儀（SQM-160）

◆可選進(jìn)口蒸發(fā)電源

系統(tǒng)要求標(biāo)準(zhǔn)配置：

◆真空腔室：Φ250mm(ID) x 300mm(H)

◆真空系統(tǒng)：機(jī)械泵 + 分子泵兩級真空系統(tǒng) 前級泵：VRD-16 機(jī)械泵，抽速：4L/S 主抽泵：分子泵，抽氣速率：300L/S 主抽閥：CCQ-100 超高真空氣動插板閥， ◆極限真空：<5×10-5Pa

◆恢復(fù)真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min)

◆真空測量：“兩低一高" 數(shù)顯復(fù)合真空計

◆蒸發(fā) 源：2 組金屬蒸發(fā)源；（標(biāo)配）最多 2 個有機(jī)束源爐源；（選配）

◆蒸發(fā)電源：采用恒壓、恒流真空鍍膜電源，功率 2.4KW，電流調(diào)節(jié)精度：0.01A

◆系統(tǒng)控制：10 英寸觸摸屏 +PLC 控制（可選手動按鈕控制）

關(guān)鍵詞：觸摸屏

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