国产强伦姧在线观看无码,中文字幕99久久亚洲精品,国产精品乱码在线观看,色桃花亚洲天堂视频久久,日韩精品无码观看视频免费

      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司


      當(dāng)前位置:筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司>>加工定制產(chǎn)品>>大型儀器設(shè)備>>無(wú)掩膜數(shù)字光刻機(jī) 波長(zhǎng)365nm 分辨率1.0um 灰度光刻64levels

      無(wú)掩膜數(shù)字光刻機(jī) 波長(zhǎng)365nm 分辨率1.0um 灰度光刻64levels

      返回列表頁(yè)
      參  考  價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號(hào)

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地上海市

      聯(lián)系方式:關(guān)嘉玉查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2024-06-08 11:40:42瀏覽次數(shù):121次

      聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 智能制造網(wǎng)


        暫無(wú)信息

      經(jīng)營(yíng)模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:1266條

      所在地區(qū):

      聯(lián)系人:關(guān)嘉玉

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      筱曉光子無(wú)掩膜數(shù)字光刻機(jī)MCML-110A總覽產(chǎn)品特點(diǎn)采用數(shù)字微鏡(DMD)的無(wú)掩膜掃描式光刻機(jī),365nm波長(zhǎng)直接從數(shù)字圖形生成光刻圖案,免去制作掩模板的中間過(guò)程,支持直接讀取GDSII和BMP文件全自動(dòng)化的對(duì)焦和套刻,易于使用晶圓連續(xù)運(yùn)動(dòng)配合DMD動(dòng)態(tài)曝光,無(wú)拼接問(wèn)題

      詳細(xì)介紹

       

      筱曉光子 無(wú)掩膜數(shù)字光刻機(jī) MCML-110A




      總覽

      產(chǎn)品特點(diǎn)

      采用數(shù)字微鏡 (DMD) 的無(wú)掩膜掃描式光刻機(jī),365nm波長(zhǎng)

      直接從數(shù)字圖形生成光刻圖案,免去制作掩模板的中間過(guò)程,支持直接讀取GDSII和BMP文件

      全自動(dòng)化的對(duì)焦和套刻,易于使用

      晶圓連續(xù)運(yùn)動(dòng)配合DMD動(dòng)態(tài)曝光,無(wú)拼接問(wèn)題。全幅面定位精度0.1um

      套刻精度: 0.2um

      500 nm / 1 um分辨率,100mm x 100mm大幅面(4~6寸晶圓),滿幅面曝光時(shí)間5~30分鐘

      500um小線寬

      可灰度曝光(128階)

      尺寸小巧,可配合用循環(huán)裝置產(chǎn)生內(nèi)部潔凈空間

       

       
      通用參數(shù)

      應(yīng)用

      微流控、生物芯片、MEMS、功率器件、LED等試制加工

      帶有2.5D圖案的微光學(xué)元件,衍射光器件制作

       教學(xué)、科研

       

      參數(shù)

       

      MCML-110A

      MCML-120A

      Wavelength 波長(zhǎng)

      365nm

      365nm

      Max. frame 大幀

      100mm x 100mm

      100mm x 100mm

      Resolution 分辨率

      1.0um

      500nm

      Grayscale lithography

      灰度光刻

      64 levels

      128 levels

      Max exposure

      大曝光量

      500mJ/cm2

      2000mJ/cm2

      Alignment accuracy

      對(duì)準(zhǔn)精度

      <200nm

      <100nm

      field curvature

      場(chǎng)曲率

      < 1 um

      < 1 um

      Speed

      速度

      5mm/sec

      2.5mm/sec

      Input file

      輸入文件

      BMP, GDSII

      BMP, GDSII

      Z level accuracy

      Z精度

      <1 um

      <1 um

      Environment

      環(huán)境

      20~25℃

      20~25℃

       

      樣品


       

       

       

      (SU8-2002, 2um膠厚,2寸硅基底)






       


      總覽

      產(chǎn)品特點(diǎn)

      采用數(shù)字微鏡 (DMD) 的無(wú)掩膜掃描式光刻機(jī),365nm波長(zhǎng)

      直接從數(shù)字圖形生成光刻圖案,免去制作掩模板的中間過(guò)程,支持直接讀取GDSII和BMP文件

      全自動(dòng)化的對(duì)焦和套刻,易于使用

      晶圓連續(xù)運(yùn)動(dòng)配合DMD動(dòng)態(tài)曝光,無(wú)拼接問(wèn)題。全幅面定位精度0.1um

      套刻精度: 0.2um

      500 nm / 1 um分辨率,100mm x 100mm大幅面(4~6寸晶圓),滿幅面曝光時(shí)間5~30分鐘

      500um小線寬

      可灰度曝光(128階)

      尺寸小巧,可配合用循環(huán)裝置產(chǎn)生內(nèi)部潔凈空間

       

       
      通用參數(shù)

      應(yīng)用

      微流控、生物芯片、MEMS、功率器件、LED等試制加工

      帶有2.5D圖案的微光學(xué)元件,衍射光器件制作

       教學(xué)、科研

       

      參數(shù)

       

      MCML-110A

      MCML-120A

      Wavelength 波長(zhǎng)

      365nm

      365nm

      Max. frame 大幀

      100mm x 100mm

      100mm x 100mm

      Resolution 分辨率

      1.0um

      500nm

      Grayscale lithography

      灰度光刻

      64 levels

      128 levels

      Max exposure

      大曝光量

      500mJ/cm2

      2000mJ/cm2

      Alignment accuracy

      對(duì)準(zhǔn)精度

      <200nm

      <100nm

      field curvature

      場(chǎng)曲率

      < 1 um

      < 1 um

      Speed

      速度

      5mm/sec

      2.5mm/sec

      Input file

      輸入文件

      BMP, GDSII

      BMP, GDSII

      Z level accuracy

      Z精度

      <1 um

      <1 um

      Environment

      環(huán)境

      20~25℃

      20~25℃

       

      樣品


       

       

       

      (SU8-2002, 2um膠厚,2寸硅基底)

      更新時(shí)間:2023/5/24 17:35:26

      關(guān)鍵詞:功率器件

      感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

      智能制造網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作,未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://towegas.com,All rights reserved.

      以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),智能制造網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示:為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn),建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

      會(huì)員登錄

      ×

      請(qǐng)輸入賬號(hào)

      請(qǐng)輸入密碼

      =

      請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

      收藏該商鋪

      請(qǐng) 登錄 后再收藏

      提示

      您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~