Ø 測(cè)量原理
圓柱度儀是以精密回轉(zhuǎn)中心線為回轉(zhuǎn)測(cè)量基準(zhǔn)，精密直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌為直線測(cè)量基準(zhǔn)，通過(guò)位于直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上的位移傳感器，測(cè)量圓柱體表面若干截面在不同轉(zhuǎn)角位置上的實(shí)際輪廓到回轉(zhuǎn)中心線的半徑變化量，來(lái)定量評(píng)價(jià)圓柱體表面圓柱度的測(cè)量?jī)x器?？捎糜跍y(cè)量圓柱體工件表面輪廓儀的形狀誤差（圓度、圓柱度、平面度和直線度），位置誤差（同心度、同軸度、跳動(dòng)和垂直度）等。
Ø 測(cè)量功能
評(píng)價(jià)項(xiàng)目:
圓柱度模塊：圓柱度、徑向全跳、同軸度、錐度、半徑
圓度模塊：圓度、同心度、徑向單跳、壁厚差
直線度模塊：直線度、平行度、垂直度
單截面平面度模塊：?jiǎn)谓孛嫫矫娑?、軸向單跳、垂直度、平行度
多截面平面度模塊：多截面平面度、平行度、軸向全跳動(dòng)、垂直度
換向器模塊：?jiǎn)纹鴦?dòng)、臨片跳動(dòng)、片間斷差
分析能力:
圓柱度功能：2-10個(gè)截面，3種評(píng)價(jià)方式
圓柱度評(píng)估的參考基準(zhǔn)：LSCY MZCY MICY MCCY OSCY
圓度評(píng)估參考圓：LSC MZC MIC MCC
測(cè)量波段：1-15upr,1-50upr,1-150upr,1-250upr,1-500upr,15-100upr, 15-500upr,2-15upr
缺口測(cè)量：有
Ø 技術(shù)規(guī)格
1、旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)
1.1 軸承類(lèi)型：氣浮軸承
1.2 旋轉(zhuǎn)精度： （0.025+6H/10000）μm*1
1.3 旋轉(zhuǎn)速度： 6rpm
1.4 工作臺(tái)有效直徑：180mm
1.5 工件直徑：420mm
1.6 測(cè)量直徑：250mm
1.7臺(tái)面承重：25kg
2、垂直軸（Z軸）
2.1 垂直移動(dòng)：320mm
2.2 垂直移動(dòng)方式：電動(dòng)
2.3 檢測(cè)高度（離旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)）：320mm
2.4 檢測(cè)深度：100mm（最小內(nèi)徑 30mm）
2.5 立柱直線度: 0.5μm/100mm*2
3、水平臂（X軸）
3.1 水平移動(dòng)：150mm
3.2 突出量：25mm
3.3 水平移動(dòng)方式：電動(dòng)
4、圓周采樣
4.1 采集器件：圓光柵
4.2 圓周采樣點(diǎn)數(shù)：8192點(diǎn)
4.3 傳感器類(lèi)型：電感傳感器
4.4 傳感器量程：±300μm
4.5 傳感器分辨率：0.001μm
5、調(diào)心調(diào)平工作臺(tái)
5.1 調(diào)心范圍：±3mm
5.2 調(diào)平范圍：±2°
6、測(cè)針
6.1 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針：紅寶石 Φ2*10
6.2 測(cè)針?lè)较颍弘p方向
6.3測(cè)針調(diào)整角度：±45°
注：1、測(cè)量點(diǎn)距端面高度H小于20mm時(shí)；2、截止波長(zhǎng)為2.5mm時(shí)；3、以上參數(shù)均在20℃±5℃，階梯溫度不超過(guò)2℃/h的環(huán)境下測(cè)得；4、地面震動(dòng)RMS ＜50HZ 2.5μm/s /＞50HZ 5.0μm/s。
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