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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      招遠(yuǎn)普斯瑪?shù)入x子技術(shù)有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      等離子去光阻機(jī)
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)GDR-60G
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
      
		                    							
      所  在  地煙臺(tái)市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：張經(jīng)理查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2023-06-16 13:56:26瀏覽次數(shù)：141次
							
      
							聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
						
      
				
      
					
					
      
						
        
                                                        

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      經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商
      
						
      商鋪產(chǎn)品：5條
      
						
      所在地區(qū)：山東煙臺(tái)市
      
						
      聯(lián)系人：張經(jīng)理 （銷售經(jīng)理）
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      采用電感耦合高密度等離子體（ICP），能快速去除晶圓上之殘留光阻，達(dá)到晶圓表面潔凈，具有蝕刻率高，無(wú)電極污染，離子能量低，不損傷基板等優(yōu)點(diǎn)。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
      ◆ 設(shè)備外形尺寸（不包括報(bào)警燈）
      650（W）×900（D）×1600（H）mm
       ◆ 合金鋁真空倉(cāng)體（約100升）
      450（W）×450（D）×450（H）mm
      ◆ 電極結(jié)構(gòu)
        外置電感耦合電極
      ◆ 等離子發(fā)生器（美國(guó)MKS）
         頻率13.56MHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作
      ◆ 控制系統(tǒng)
        PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式
      ◆ 真空系統(tǒng)（真空壓力PID閉環(huán)自動(dòng)控制）
        日本愛發(fā)科（ULVAC）機(jī)械真空泵 VDN901 （23L/S）
        中國(guó)臺(tái)灣氣動(dòng)真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國(guó)英福康壓力傳感器         
      ◆ 充氣系統(tǒng)
       美國(guó)MKS高精度電子質(zhì)量流量計(jì)（四路氣體配制）
      美國(guó)世偉洛克SWAGELOK氣體管路及接口組件，德國(guó)雙級(jí)減壓閥
        日本SMC及CKD高真空氣閥組件
      
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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