AWM5101V氣體質(zhì)量流量傳感器在線(xiàn)測(cè)量
AWM5101V氣體質(zhì)量流量傳感器為文丘里流量管形外殼，可以測(cè)量zui高至5 升/ 分鐘。微橋芯片直接與氣流接觸，大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。
AWM5101V氣體質(zhì)量流量傳感器采用堅(jiān)固，通用的封裝形式，該流量傳感器堅(jiān)固，塑料的封裝能承受50psi的共模壓力，內(nèi)部的小型傳感芯片能允許100 克的沖擊在額定指標(biāo)下，兩個(gè)測(cè)量孔是單獨(dú)模件，可在zui小的模具花費(fèi)下根據(jù)實(shí)際更改，插入式AMP 連接器提供十分可靠的連接。
AWM5101V氣體質(zhì)量流量傳感器為文丘里流量管形外殼，可以測(cè)量zui高至5 升/ 分鐘。微橋芯片直接與氣流接觸，大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。
AWM5101V氣體質(zhì)量流量傳感器采用堅(jiān)固，通用的封裝形式，該流量傳感器堅(jiān)固，塑料的封裝能承受50psi的共模壓力，內(nèi)部的小型傳感芯片能允許100 克的沖擊在額定指標(biāo)下，兩個(gè)測(cè)量孔是單獨(dú)模件，可在zui小的模具花費(fèi)下根據(jù)實(shí)際更改，插入式AMP 連接器提供十分可靠的連接。
AWM5101V氣體質(zhì)量流量傳感器內(nèi)置的信號(hào)處理電路
AWM5101V，每個(gè)氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品都包括含放大` 線(xiàn)性修正` 溫度補(bǔ)償和氣體標(biāo)定，氣體標(biāo)定通過(guò)激光校整得到。
AWM5101V，每個(gè)氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品都包括含放大` 線(xiàn)性修正` 溫度補(bǔ)償和氣體標(biāo)定，氣體標(biāo)定通過(guò)激光校整得到。
圖1 AWM5101V氣體質(zhì)量流量傳感器發(fā)熱器控制電路
R1• 3.3K R2• 5.OK R3• 1.82K R4• 24.9K R5• 24.9K R7• 200K R8• 32K R9• 6.0K R11• 10K R12• 400K R13• 3.5K R14• 5K R15• 5K R16• 400K R17• 400K R18• 9K R19• 1K Ra• 500
Rb• 3.0K Rc• 1.0K Rf• 6.0K
Rb• 3.0K Rc• 1.0K Rf• 6.0K
圖2 AWM5101V氣體質(zhì)量流量傳感器傳感橋電路和放大線(xiàn)性電路
AWM5000系列氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)規(guī)格
| | AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 |
| 流量范圍 | 0-5 SLPM | 0-10 SLPM | 0- 15 SLPM | 0-20 SLPM |
| 后綴-標(biāo)定氣體 | VA-氬氣（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮?dú)猓∟2） | |||
| | Min Typ Max | |||
| *供電電源VDC | 8.0 10±0.01 15 | |||
| 功耗（mW） | 100 | |||
| 反應(yīng)時(shí)間（mA） | 60 | |||
| 零點(diǎn)輸出VDC | 0.95 1.00 1.05 | |||
| 零點(diǎn)漂移，VDC -20~70?C | ±0.050 ±0.200 | |||
| zui大共模壓力psi | 50 | |||
| 溫度范圍 | -20~+70?C | |||
| 沖擊指標(biāo) | 100g峰值，6ms 半正弦（3drops,3 的每一方向） | |||
| 輸出@ 較整點(diǎn) | 5VDC@ 滿(mǎn)量程流量 | |||
| 壓差@ 滿(mǎn)量程 | 參照壓力& 氣流表 | |||
| 滿(mǎn)量程輸出漂移+20?~-25?C +20?~70?C | 后綴VA 或VN ±7.0% 讀數(shù)，VC ±10.0% 讀數(shù) | |||
| 線(xiàn)性誤差 | ±3.0% 讀數(shù) | |||
| 遲滯& 重復(fù)性 | ±0.5% 讀數(shù) | |||
| 連接器（4pin receptacle） | AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143） | |||
| 泄漏max | 0.1psi/min,在靜態(tài)中 | |||
注：1、供電電壓除10.00±0.01VDC 外，不保證標(biāo)定值。
2、線(xiàn)性誤差適用于2-* 滿(mǎn)量程，但不適用0 LPM 時(shí)零輸出
3、在50psi 內(nèi)壓下，AWM5000 系列每分鐘泄漏小于0.1psi，如果安裝時(shí)，相對(duì)于流量管的連接器被扭轉(zhuǎn)，將會(huì)破壞O 形圈和流量管之間的密封，引起暫時(shí)匯漏，可高達(dá)1psi，也可能在指標(biāo)內(nèi)，換上新O 形圈后，密封恢復(fù)，大約85% 的泄漏在24 小時(shí)內(nèi)消除，48 小時(shí)內(nèi)，可*恢復(fù)。
2、線(xiàn)性誤差適用于2-* 滿(mǎn)量程，但不適用0 LPM 時(shí)零輸出
3、在50psi 內(nèi)壓下，AWM5000 系列每分鐘泄漏小于0.1psi，如果安裝時(shí)，相對(duì)于流量管的連接器被扭轉(zhuǎn)，將會(huì)破壞O 形圈和流量管之間的密封，引起暫時(shí)匯漏，可高達(dá)1psi，也可能在指標(biāo)內(nèi)，換上新O 形圈后，密封恢復(fù)，大約85% 的泄漏在24 小時(shí)內(nèi)消除，48 小時(shí)內(nèi)，可*恢復(fù)。
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