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深圳市順心科技有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號KSI V300E
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地深圳市
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更新時間:2024-03-12 21:42:29瀏覽次數(shù):84次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)KSI V300E是一款高產(chǎn)能超聲波聲學(xué)顯微鏡,可以對塑封集成電路IC、IGBT大功率模組,各型電容、以及銅基板器件進行無損檢測,分析器件內(nèi)部之分層、裂縫、空洞等缺陷。
KSI 品牌是由德國的 Klaus Kraemer 博士所創(chuàng)立,Klaus Kraemer 博士是是歐洲聲學(xué)顯微技術(shù)的,從 1984 年開始一直到現(xiàn)在,近 30 年來,不斷推進高分辨 聲學(xué)檢測技術(shù)的創(chuàng)新,為半導(dǎo)體、復(fù)合材料、生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,提供聲學(xué)檢測裝備和訂制化的技術(shù)解決方案。Klaus Kraemer 博士本人則堪稱歐洲高分 辨聲學(xué)檢測技術(shù)歷史的活化石。
KSI 公司一直專注于聲學(xué)顯微基礎(chǔ)技術(shù)的研究與開發(fā),目標(biāo)是朝更高精度、更高分辨率、更大的產(chǎn)能、設(shè)備更加、更加耐用方向發(fā)展。這也非常符合德國 人作風(fēng),專注、專業(yè)、一輩子只做好一件事。 2009 年開發(fā)的 FCT 低噪探頭技術(shù),能極大地壓制探頭在水中運動掃描時所產(chǎn)生的水花,顯著提高聲學(xué)圖像的品質(zhì),并使設(shè)備能夠持續(xù)在高速狀態(tài)下進行工作, 而不會由于巨大的水花而導(dǎo)致對測試結(jié)果的誤判。 近年來推出的全新一代 v 系列聲學(xué)顯微系統(tǒng),靈敏度可以達到 0.3 微米。在噪聲控制、弱信號處理技術(shù)更上一個新臺階,不需要外置濾波器即可對晶 圓級的缺陷進行高分辨檢測,既讓圖像更清晰,又不遺漏微缺陷。這也是 Ksi 公司多年專注于超聲基礎(chǔ)技術(shù)研發(fā)的基礎(chǔ)上取得的進展。
掃描范圍適中:300mm x 300mm;
磁懸浮超高速機型;
掃描速度:2米/秒;
掃描加速度:30米/秒;
KSI一臺機器相當(dāng)于常規(guī)機器2臺的工作量。(常規(guī)機器小于1米/秒);
高掃描重復(fù)精度:+/-0.1微米(常規(guī)機器只能做到0.5微米);
低噪防誤判探頭(常規(guī)機器沒有,無法在高速掃描時去除水花導(dǎo)致的誤判)。
一、掃描機械機構(gòu)
(1) X、Y軸都是由高精度磁懸浮直線電機驅(qū)動
(2) X、Y軸一次掃描行程范圍:300mm×300mm(上限可以做到305mm x 305mm)
(3) X、Y軸一次最小掃描行程范圍:0.2mm×0.2mm
(4) 掃描速率:2000mm/s,掃描加速度30m/s2
(5) X、Y軸掃描重復(fù)精度±0.1um
(6) Z軸是高精度自鎖步進電機,行程:100mm
(7) Z軸電機重復(fù)精度:± 0.25μm
二、 掃描模式
(1) 點波形(A-Scan)
(2) 縱剖掃描(B-Scan)
(3) 橫剖掃描(C-Scan)
(4) 斜剖掃描(D-Scan)
(5) 等間隔多層橫剖掃描(X-Scan)
(6) 自定義多層橫剖掃描,可獨立設(shè)置不同層面的厚度等參數(shù)
(7) 透射掃描
(8) 順序掃描、托盤掃描、高質(zhì)量掃描、表面跟蹤掃描、全息掃描(實體掃描)
(9) 其它
三、 脈沖信號收發(fā)器和換能器
(1) 掃描工作模式:單通道工作模式
(2) 脈沖信號收發(fā)器帶寬:5MHz~550MHz
(3) 總增益:150dB
四、 主要功能
(1) 測試被測工件內(nèi)部缺陷,如空洞、分層、裂縫、異物等;
(2) 掃描圖像模板功能,輕松獲得參數(shù)一致的聲學(xué)顯微圖像;
五、 其它指標(biāo)
(1) 保存圖像格式:JPG、BMP、SAM(sam是原廠圖像格式);
(2) 圖像采樣像素:32000×32000像素 ,可以自定義輸入圖像分辨率或單個像素尺寸,由設(shè)備自動計算所用的圖像分辨率。
序號 | 名稱 | 部件編號 | 說明 | 選配請打v |
1 | 透射掃描模組 | TT-kit | 含透射接收探頭一個、透射樣品臺、其它透射結(jié)構(gòu)件 | |
2 | Jedec樣品架 | Jedec Tray | Jedec Tray | |
3 | 晶圓樣品臺 | Wafer Chunk | Samplestage with wafer chuck | |
4 | 真空吸盤樣品臺 | Universal Vacuum sample stage | Universal Vacuum-Sample-Stage, incl: -Vacuum Pump21qm/h -Water Absorber & Cycling System- Tubes & Cables | |
5 | 三維超聲CT成像軟件 | KSI 4D software | -Four dimensional sample viewing and analyzing -Free rotatable in all axis -Overview of all layers in extra window | |
6 | 高分辨濾波器 | HTE | Hilbert Transformation Envelope | |
7 | 常規(guī)探頭 | 5MHz | conventional probe with different focal length | |
8 | 常規(guī)探頭 | 15MHz | conventional probe with different focal length | |
9 | 常規(guī)探頭 | 20MHz | conventional probe with different focal length | |
10 | 常規(guī)探頭 | 30MHz | conventional probe with different focal length | |
11 | 常規(guī)探頭 | 40MHz | conventional probe with different focal length | |
12 | 常規(guī)探頭 | 50MHz | conventional probe with different focal length | |
13 | 常規(guī)探頭 | 75MHz | conventional probe with different focal length | |
14 | 常規(guī)探頭 | 100MHz | conventional probe with different focal length | |
15 | 常規(guī)探頭 | 110MHz | conventional probe with different focal length | |
16 | 常規(guī)探頭 | 125MHz | conventional probe with different focal length | |
17 | 常規(guī)探頭 | 150MHz | conventional probe with different focal length | |
18 | 常規(guī)探頭 | 230MHz | conventional probe with different focal length | |
19 | 低噪探頭 | 300MHz | conventional probe with different focal length | |
20 | 低噪探頭 | 320MHz | conventional probe with different focal length | |
21 | 聲學(xué)物透探頭 | 200MHz | Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle | |
22 | 聲學(xué)物透探頭 | 400MHz | Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle |
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