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      • 行業(yè)產(chǎn)品

      深圳市順心科技有限公司


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      高精度掃描聲學(xué)顯微鏡

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      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號KSI V300E

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地深圳市

      聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

      更新時間:2024-03-12 21:42:29瀏覽次數(shù):84次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:141條

      所在地區(qū):

      產(chǎn)品簡介

      KSI V300E是一款高產(chǎn)能超聲波聲學(xué)顯微鏡,可以對塑封集成電路IC、IGBT大功率模組,各型電容、以及銅基板器件進行無損檢測,分析器件內(nèi)部之分層、裂縫、空洞等缺陷。

      詳細(xì)介紹

      KSI介紹

            KSI 品牌是由德國的 Klaus Kraemer 博士所創(chuàng)立,Klaus Kraemer 博士是是歐洲聲學(xué)顯微技術(shù)的,從 1984 年開始一直到現(xiàn)在,近 30 年來,不斷推進高分辨 聲學(xué)檢測技術(shù)的創(chuàng)新,為半導(dǎo)體、復(fù)合材料、生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,提供聲學(xué)檢測裝備和訂制化的技術(shù)解決方案。Klaus Kraemer 博士本人則堪稱歐洲高分 辨聲學(xué)檢測技術(shù)歷史的活化石。

            KSI 公司一直專注于聲學(xué)顯微基礎(chǔ)技術(shù)的研究與開發(fā),目標(biāo)是朝更高精度、更高分辨率、更大的產(chǎn)能、設(shè)備更加、更加耐用方向發(fā)展。這也非常符合德國 人作風(fēng),專注、專業(yè)、一輩子只做好一件事。 2009 年開發(fā)的 FCT 低噪探頭技術(shù),能極大地壓制探頭在水中運動掃描時所產(chǎn)生的水花,顯著提高聲學(xué)圖像的品質(zhì),并使設(shè)備能夠持續(xù)在高速狀態(tài)下進行工作, 而不會由于巨大的水花而導(dǎo)致對測試結(jié)果的誤判。 近年來推出的全新一代 v 系列聲學(xué)顯微系統(tǒng),靈敏度可以達到 0.3 微米。在噪聲控制、弱信號處理技術(shù)更上一個新臺階,不需要外置濾波器即可對晶 圓級的缺陷進行高分辨檢測,既讓圖像更清晰,又不遺漏微缺陷。這也是 Ksi 公司多年專注于超聲基礎(chǔ)技術(shù)研發(fā)的基礎(chǔ)上取得的進展。

      產(chǎn)品優(yōu)勢
      • 掃描范圍適中:300mm x 300mm;

      • 磁懸浮超高速機型

      • 掃描速度:2米/秒;

      • 掃描加速度:30米/秒;

      • KSI一臺機器相當(dāng)于常規(guī)機器2臺的工作量。(常規(guī)機器小于1米/秒);

      • 高掃描重復(fù)精度:+/-0.1微米(常規(guī)機器只能做到0.5微米)

      • 低噪防誤判探頭(常規(guī)機器沒有,無法在高速掃描時去除水花導(dǎo)致的誤判)。

      技術(shù)指標(biāo)

      一、掃描機械機構(gòu) 

      (1) XY軸都是由高精度磁懸浮直線電機驅(qū)動

      (2) X、Y軸一次掃描行程范圍:300mm×300mm(上限可以做到305mm x 305mm

      (3) X、Y軸一次最小掃描行程范圍:0.2mm×0.2mm

      (4) 掃描速率:2000mm/s,掃描加速度30m/s2

      (5) X、Y軸掃描重復(fù)精度±0.1um

      (6) Z軸是高精度自鎖步進電機,行程:100mm

      (7) Z軸電機重復(fù)精度:± 0.25μm

      二、 掃描模式

      (1) 點波形(A-Scan)

      (2) 縱剖掃描(B-Scan)

      (3) 橫剖掃描(C-Scan)

      (4) 斜剖掃描(D-Scan)

      (5) 等間隔多層橫剖掃描(X-Scan)

      (6) 自定義多層橫剖掃描,可獨立設(shè)置不同層面的厚度等參數(shù)

      (7) 透射掃描

      (8) 順序掃描、托盤掃描、高質(zhì)量掃描、表面跟蹤掃描、全息掃描(實體掃描)

      (9) 其它 

      三、 脈沖信號收發(fā)器和換能器

      (1) 掃描工作模式:單通道工作模式

      (2) 脈沖信號收發(fā)器帶寬:5MHz~550MHz

      (3) 總增益:150dB 

      四、 主要功能

      (1) 測試被測工件內(nèi)部缺陷,如空洞、分層、裂縫、異物等;

      (2) 掃描圖像模板功能,輕松獲得參數(shù)一致的聲學(xué)顯微圖像;

      五、 其它指標(biāo)

      (1) 保存圖像格式:JPG、BMP、SAM(sam是原廠圖像格式);

      (2) 圖像采樣像素:32000×32000像素 ,可以自定義輸入圖像分辨率或單個像素尺寸,由設(shè)備自動計算所用的圖像分辨率。

      image.png

      選配組件
      序號

      名稱

      部件編號

      說明

      選配請打v

      1

      透射掃描模組

      TT-kit

      含透射接收探頭一個、透射樣品臺、其它透射結(jié)構(gòu)件


      2

      Jedec樣品架

      Jedec Tray

      Jedec Tray


      3

      晶圓樣品臺

      Wafer Chunk

      Samplestage with wafer chuck


      4

      真空吸盤樣品臺

      Universal Vacuum sample stage

      Universal Vacuum-Sample-Stage, incl:

      -Vacuum Pump21qm/h

      -Water Absorber & Cycling System- Tubes & Cables


      5

      三維超聲CT成像軟件

      KSI 4D software

      -Four dimensional sample viewing and analyzing -Free rotatable in all axis

      -Overview of all layers in extra window


      6

      高分辨濾波器

      HTE

      Hilbert Transformation Envelope


      7

      常規(guī)探頭

      5MHz

      conventional probe with different focal length


      8

      常規(guī)探頭

      15MHz

      conventional probe with different focal length


      9

      常規(guī)探頭

      20MHz

      conventional probe with different focal length


      10

      常規(guī)探頭

      30MHz

      conventional probe with different focal length


      11

      常規(guī)探頭

      40MHz

      conventional probe with different focal length


      12

      常規(guī)探頭

      50MHz

      conventional probe with different focal length


      13

      常規(guī)探頭

      75MHz

      conventional probe with different focal length


      14

      常規(guī)探頭

      100MHz

      conventional probe with different focal length


      15

      常規(guī)探頭

      110MHz

      conventional probe with different focal length


      16

      常規(guī)探頭

      125MHz

      conventional probe with different focal length


      17

      常規(guī)探頭

      150MHz

      conventional probe with different focal length


      18

      常規(guī)探頭

      230MHz

      conventional probe with different focal length


      19

      低噪探頭

      300MHz

      conventional probe with different focal length


      20

      低噪探頭

      320MHz

      conventional probe with different focal length


      21

      聲學(xué)物透探頭

      200MHz

      Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle


      22

      聲學(xué)物透探頭

      400MHz

      Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle


      關(guān)鍵詞:濾波器 步進電機
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