MIRAD紅外輻照器

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更新時間：2024-04-16 14:25:25瀏覽次數(shù)：64次

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北京費恩科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹紅外輻照器外形圖紅外輻照器模塊組成圖MIRAD輻照器的設(shè)計思路整合了三個模塊(MTB中溫的黑體，VAB光機輻射衰減器和三個TP透射管），三個模塊組合一起，從而在管道出口幾十毫米下的晶圓面接收到均勻、光強可調(diào)節(jié)的MWIR/LWIR輻照

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

紅外輻照器外形圖紅外輻照器模塊組成圖

MIRAD輻照器的設(shè)計思路整合了三個模塊(MTB中溫的黑體，VAB光機輻射衰減器和三個TP透射管），三個模塊組合一起，從而在管道出口幾十毫米下的晶圓面接收到均勻、光強可調(diào)節(jié)的MWIR/LWIR輻照。

? MIRAD的設(shè)計針對半導(dǎo)體行業(yè)進行了優(yōu)化。與典型黑體相比，MTB黑體的熱發(fā)射明顯降低。對通過VAB衰減器的空氣進行了過濾。TP透射管內(nèi)的光學(xué)元件保護半導(dǎo)體晶圓不受來自MTB黑體高溫發(fā)射端涂層掉落粒子的污染。

產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)	描述
總體參數(shù)
TP3 管到被測sensor的距離	28 mm (可定制)
晶圓表面的寬波段輻照度	至少8 mW/cm2 (詳見測試報告)
被測sensor面積	直徑60mm
建議測量區(qū)域大小	不超過直徑 40mm
輻照度不均勻性	< ±2% ，直徑30 mm范圍內(nèi) < ±3% ，直徑 50 mm范圍內(nèi) < ±5% ，直徑 60 mm范圍內(nèi)
輻射波段	0.7µm 到 30 µm
發(fā)射光譜	類似于所設(shè)置的黑體溫度對應(yīng)Planck光譜
黑體參數(shù)
黑體溫度范圍	50°C 到550°C 建議 ≤ 500°C
黑體輻射面積	直徑 120 mm
黑體輻射有效面積	直徑 90 mm
調(diào)整分辨率	10mK
時間穩(wěn)定性	不超過50 mK
控制方式	USB接口，PC控制
VAB 衰減器
透過率范圍	0% 到 99%
調(diào)制分辨率	不少于 0.1%
潔凈空氣過濾器	有
控制方式	USB接口，PC控制
TP1/TP2/TP3 管
尺寸	IP750 成像測試機定制尺寸
設(shè)計	管內(nèi)有擋板，集成光學(xué)鏡片和整形部件
透過率	1 µm 到30 µm范圍內(nèi)均勻透過
其他參數(shù)
工作溫度	+5oC到 35oC
儲存溫度	-5oC到 55oC
工作濕度	不超過75%
儲存濕度	不超過50%

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