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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
			
      
				
      
					
      URE-2000B光刻機
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地蘇州市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2023-08-06 15:24:01瀏覽次數(shù)：207次
							
      
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                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      產(chǎn)品介紹: 1.曝光面積：100mmX100mm 2.曝光波長：365nm 3.分辨力：0.8um（膠厚2mm的正膠）4.對準精度：±0.6um...
      
				
      
				
      
                    詳細介紹
                
      
			    
      
			        
      
			             
      1．技術(shù)參數(shù)

      l 曝光面積：100mmX100mm
      l 曝光波長：365nm
      l 分辨力：0.8um（膠厚2um的正膠）
      l 對準精度：±0.6um
      l 掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
      l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
      l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm（各種不規(guī)則片）
      厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)
      l 曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
      l 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
      l 照明不均勻性： 2.5%（f100mm 范圍）
      l 雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍
      物鏡3對：4倍、10倍、20倍；     目鏡3對：10倍、16倍、20倍
      l 調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
      l 數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
      l 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
      l 掩模相對于樣片運動行程：   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度
      l 焦厚：600mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）
      l 光源平行度：2o
      l 曝光能量密度：>20mW/cm
      l 汞燈功率：1000W（直流，進口）
      2．外形尺寸：1400mm（長）′1200mm(寬) ′1950mm（高）
      3．配置

      （1）曝光頭

      l 冷光橢球鏡
      l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
      l 冷卻風(fēng)扇
      l 1000W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
      l 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（109個透鏡）、i線濾光片、場鏡、冷光反射鏡1、反射鏡2

      （2）對準工件臺

      l 掩模樣片整體運動臺
      l 掩模樣片相對運動臺
      l 轉(zhuǎn)動臺
      l 樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成
      l 樣片自動調(diào)焦機構(gòu)
      l 承片臺4個（f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）
      l 掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
      l 基片抽拉式上下機構(gòu)

      （3）對準顯微鏡及CCD對準系統(tǒng)

      l 光源、電源
      l 雙目雙視場對準顯微鏡主體
      l 目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
      l 物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
      l CCD
      l 21英寸液晶顯示器
      （4）電控系統(tǒng)

      l 汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)
      l 單片機控制系統(tǒng)
      l 控制柜桌 
      （5）氣動系統(tǒng)
      l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
      l 電磁閥驅(qū)動
      l 氣動儀
      （6）其他附件
      l 真空泵一臺（無油泵）
      l 空壓機一臺（泵）
      l 管道
      （7）技術(shù)資料
      l 使用維修說明書。
      l 顯微鏡使用說明書
      
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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