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      深圳市科銳詩汀科技有限公司


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      INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計(jì)(大氣壓至超高真空)

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      更新時(shí)間:2022-12-21 12:12:08瀏覽次數(shù):507次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:56條

      所在地區(qū):廣東深圳市

      產(chǎn)品簡介

      BPG402-S.pdfINFICONBPG402-SB-A型皮拉尼真空計(jì)(大氣壓至超高真空)INFICONB-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì),BPG402-S,將兩種真空計(jì)集成在一個(gè)簡單小型的單元內(nèi),測(cè)量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓(3.8X10-10乇至大氣壓)

      詳細(xì)介紹

      BPG402-S.pdf

      INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計(jì)(大氣壓至超高真空)

       INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì),BPG402-S,將兩種真空計(jì)集成在一個(gè)簡單小型的單元內(nèi),測(cè)量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓(3.8X10-10乇至大氣壓)。復(fù)合技術(shù)降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇一個(gè)經(jīng)濟(jì)型規(guī)管內(nèi)的BPG402-S帶有兩根敷涂銥的氧化釔燈絲,用于普及和可再現(xiàn)過程中的基本壓強(qiáng)測(cè)量。當(dāng)更換傳感器時(shí),帶有在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的傳感元件保證高度的重復(fù)性。

      這種 Bayard 熱電離(雙絲極)皮拉尼結(jié)合真空計(jì) BPG402-S 系列直接取代 ITR 200 系列熱電離皮拉尼發(fā)射器:

      1.png

      好處

      • 從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓(3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓)的極其寬泛的測(cè)量范圍

      • 在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性

      • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)絲極,防止過早燒毀

      • 雙長使用壽命氧化釔銥絲

      • 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

      • 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié),減少操作員的干預(yù)

      • 傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù),易于更換,可保證高再現(xiàn)性

      • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

      新聞

      • 新! 現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口!

      典型應(yīng)用

      • 對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測(cè)量

      • 工業(yè)鍍膜

      • 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

      *性:

      1、  極寬的測(cè)量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓(3.8X10-10乇至大氣壓)

      2、  的重復(fù)性,過程壓強(qiáng)范圍從10-8…10-2毫巴均為5%

      3、  皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)B-A型系統(tǒng),防止燈絲過早燒毀和高壓強(qiáng)運(yùn)行產(chǎn)生污染

      4、  兩根敷涂銥的氧化釔長壽燈絲

      5、  可選圖形顯示和Fieldbus接口

      6、  自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整,減少操作人員的干預(yù)

      7、  易于更換傳感元件,帶有在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證高度的重復(fù)性

      8、  符合RoHS

       用途:

      1、  半導(dǎo)體工藝過程和傳輸室中的壓強(qiáng)測(cè)量

      2、  工業(yè)鍍膜

      3、  從低至超高真空范圍的一般真空測(cè)量和控制


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