飛行時(shí)間法遷移率測(cè)量?jī)xFlyTOF是東譜科技HiTran瞬態(tài)綜合光電特性測(cè)量平臺(tái)中的重要成員。該系統(tǒng)利用飛行時(shí)間法（Time-Of-Flight，TOF）測(cè)量半導(dǎo)體材料的遷移率以及相關(guān)的光電特性，廣泛適用于各類半導(dǎo)體材料，如硅基半導(dǎo)體、第二代半導(dǎo)體、第三代寬帶隙半導(dǎo)體、有機(jī)半導(dǎo)體、鈣鈦礦半導(dǎo)體、量子點(diǎn)半導(dǎo)體、二維材料半導(dǎo)體、金屬-有機(jī)框架（MOF）、共價(jià)有機(jī)框架（COF）等。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品關(guān)鍵詞：電子遷移率測(cè)試、載流子遷移率測(cè)量系統(tǒng)、空穴遷移率測(cè)試、電子遷移率檢測(cè)、半導(dǎo)體測(cè)試儀、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、半導(dǎo)體器件參數(shù)測(cè)試儀、渡越時(shí)間測(cè)量、飛行時(shí)間質(zhì)譜儀、少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀、載流子壽命測(cè)試儀器、遷移率壽命積測(cè)量、少數(shù)載流子測(cè)試、水平載流子測(cè)試儀、橫向載流子測(cè)試、載流子濃度測(cè)量?jī)x

Key words: Electron mobility Test, carrier mobility measurement System, Hole mobility test, electron mobility detection, semiconductor tester, semiconductor parameter analyzer, semiconductor device parameter tester, transit time measurement, time of flight Mass spectrometer, minority carrier lifetime tester, carrier lifetime testing instrument, Mobility lifetime product measurement, minority carrier test, horizontal carrier Tester, transverse carrier test, carrier concentration measuring instrument

▌ 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

2012年為行業(yè)提供搭建式系統(tǒng)，并于2019年全新推出的業(yè)內(nèi)新款自動(dòng)化、集成化的飛行時(shí)間法遷移率測(cè)量商業(yè)化設(shè)備。

FlyTOF飛行時(shí)間法遷移率測(cè)量?jī)x是東譜科技HiTran瞬態(tài)綜合光電特性測(cè)量平臺(tái)中的重要成員。該系統(tǒng)利用飛行時(shí)間法（time-of-flight，TOF）測(cè)量半導(dǎo)體材料的遷移率以及相關(guān)的光電特性，廣泛適用于各類半導(dǎo)體材料，如硅基半導(dǎo)體、第二代半導(dǎo)體、第三代寬帶隙半導(dǎo)體、有機(jī)半導(dǎo)體、鈣鈦礦半導(dǎo)體、量子點(diǎn)半導(dǎo)體、二維材料半導(dǎo)體、金屬-有機(jī)框架（MOF）、共價(jià)有機(jī)框架（COF）等。FlyTOF基于我司的MagicBox主機(jī)研制而成，配備便捷的上位機(jī)控制和數(shù)據(jù)測(cè)量軟件，可助力客戶進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的測(cè)量。FlyTOF是東譜科技源頭研發(fā)產(chǎn)品，是業(yè)內(nèi)新款自動(dòng)化、集成化的飛行時(shí)間法遷移率測(cè)試商業(yè)化設(shè)備。

遷移特性是半導(dǎo)體基礎(chǔ)的性質(zhì)之一，是半導(dǎo)體在電子學(xué)和光電子學(xué)等領(lǐng)域進(jìn)行應(yīng)用的基礎(chǔ)。半導(dǎo)體的遷移率定義為單位電場(chǎng)下載流子的平均漂移速度。TOF遷移率測(cè)試方法直接由遷移率的定義發(fā)展而來。相比于一些間接的遷移率測(cè)試方法，如空間電荷限制電流（SCLC）法等，TOF的方法被認(rèn)為是接近“真實(shí)"遷移率的一種測(cè)量方法。通過TOF瞬態(tài)光電流信號(hào)的分析，可以得到電子遷移率、空穴遷移率等參數(shù)；用戶還可以利用這些數(shù)據(jù)，結(jié)合材料的物理模型進(jìn)行分析，得到雜質(zhì)濃度、缺陷、能帶混亂度、電荷跳躍距離等參數(shù)。

作為TOF遷移率測(cè)試方法商業(yè)化應(yīng)用的先行，東譜科技已攜手客戶廣泛探索了FlyTOF在有機(jī)半導(dǎo)體、硅基半導(dǎo)體、鈣鈦礦半導(dǎo)體、二維材料、共價(jià)有機(jī)框架等領(lǐng)域的應(yīng)用。東譜期待與您共同開拓FlyTOF更多的應(yīng)用領(lǐng)域。

▌ 產(chǎn)品特點(diǎn)

□ 載流子遷移率測(cè)量值覆蓋10^-9~10^6 cm^2/(V.s)

□ 專業(yè)的信號(hào)調(diào)教，電磁兼容噪聲小

□ 行業(yè)出色的TOF測(cè)試功能

□ 軟件自動(dòng)控制，測(cè)試快速便捷

□ 快速換樣裝置，惰性氣體氛圍測(cè)試

□ 可實(shí)現(xiàn)寬溫度范圍的變溫測(cè)試（選配）

□ 可通過可視化系統(tǒng)看到光斑照射情況

□ 可靈活耦合各種類型的激發(fā)光源

▌ 產(chǎn)品功能

□ 飛行時(shí)間法瞬態(tài)光電流測(cè)量

□ 半導(dǎo)體材料電子遷移率測(cè)量

□ 半導(dǎo)體材料空穴遷移率測(cè)量

□ 載流子濃度測(cè)量

□ 載流子壽命測(cè)量

□ 可選變溫測(cè)量

□ 可選Lateral-TOF測(cè)試功能及附件

□ 可選配TOF二維掃描（mapping）功能及附件

功能說明：

標(biāo)配TOF：縱向TOF；

Mapping功能：可以對(duì)TOF的信號(hào)進(jìn)行二維平面的成像；

Lateral-TOF功能：可以以水平的方式對(duì)樣品的遷移率進(jìn)行測(cè)試。

▌ 產(chǎn)品應(yīng)用

□ 有機(jī)半導(dǎo)體	□ 量子點(diǎn)半導(dǎo)體	□ 元素半導(dǎo)體（Si、Ge等）	□ 金屬-有機(jī)框架（MOF）	□ 二維材料
□ 寬帶隙第三代半導(dǎo)體	□ 鈣鈦礦材料	□ 化合物半導(dǎo)體（InGaAs等）	□ 共價(jià)有機(jī)框（COF）	□ 其它半導(dǎo)體材料

▌ 規(guī)格型號(hào)

規(guī)格配置	高性能版（E300）	標(biāo)配版（S300）	經(jīng)濟(jì)版（W300）
TOF標(biāo)配功能	√	√	√
Mapping模塊	可選	可選	×
Lateral-TOF	可選	可選	×
* Lateral-TOF： □ 包含顯微系統(tǒng)、探針系統(tǒng)、針對(duì)Lateral-TOF的光路及電子部件系統(tǒng)等，具有非標(biāo)性質(zhì)，詳情請(qǐng)與銷售專員聯(lián)系。 * 可選配置/部件： □ 337nm 納秒氣體激光器； □ 532nm納秒調(diào)Q固體激光器； □ 355 nm納秒調(diào)Q固體激光器； □ Nd:YAG激光器 1064 nm、532 nm、355 nm、266 nm； □ 可調(diào)諧 OPO 激光器，波長(zhǎng)范圍：210-2400 nm。

▌ 測(cè)試樣例

關(guān)鍵詞：分析儀質(zhì)譜儀

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